[发明专利]光致抗蚀剂去除用组合物和用其制造阵列基板的方法

权利要求书

1.一种光致抗蚀剂去除用组合物，所述组合物包含：

a)包含环胺和/或二元胺的胺化合物；

b)乙二醇醚类化合物；

c)缓蚀剂；和

d)极性溶剂。

2.如权利要求1所述的组合物，其中，所述乙二醇醚类化合物是选自由乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丁醚、二乙二醇丙醚、三乙二醇甲醚、三乙二醇乙醚和三乙二醇丁醚组成的组中的物质。

3.如权利要求1所述的组合物，其中，所述乙二醇醚类化合物的含量为所述组合物总重量的约10重量％～约90重量％。

4.如权利要求3所述的组合物，其中，所述乙二醇醚类化合物的含量为所述组合物总重量的约40重量％～约70重量％。

5.如权利要求1所述的组合物，其中，所述乙二醇醚类化合物包括二乙二醇甲醚。

6.如权利要求1所述的组合物，其中，所述极性溶剂是选自由N-甲基-2-吡咯烷酮、N-甲基乙酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、乙酰胺、N-乙基乙酰胺、N，N-二乙基乙酰胺、甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N，N-二乙基甲酰胺、N，N-二甲基咪唑、N-芳基甲酰胺、N-丁基甲酰胺、N-丙基甲酰胺和N-戊基甲酰胺组成的组中的物质。

7.如权利要求1所述的组合物，其中，所述极性溶剂包括甲酰胺类化合物。

8.如权利要求7所述的组合物，其中，所述极性溶剂包括N-甲基甲酰胺。

9.如权利要求1所述的组合物，其中，所述极性溶剂的含量是所述组合物总重量的约5重量％～约70重量％。

10.如权利要求8所述的组合物，其中，所述极性溶剂的含量是所述组合物总重量的约20重量％～约50重量％。

11.如权利要求1所述的组合物，其中，所述胺化合物是选自由1-(2-羟基乙基)哌嗪、1-(2-氨基乙基)哌嗪、1-(2-羟基乙基)-4-甲基哌嗪、N-(3-氨基丙基)吗啉、2-甲基哌嗪、1-甲基哌嗪、4-氨基-1-甲基哌嗪、1-苄基哌嗪、1-苯基哌嗪、2-[(2-氨基乙基)氨基]乙醇、2-[(2-氨基甲基)氨基]甲醇、1-[(2-氨基乙基)氨基]-2-丙醇、2-{[2-(甲基氨基)乙基]氨基}乙醇、2-[(2-氨基-2-甲基丙基)氨基]乙醇和氨基-二-丙醇胺组成的组中的物质。

12.如权利要求1所述的组合物，其中，所述胺化合物的含量是所述组合物总重量的约1重量％～约20重量％。

13.如权利要求12所述的组合物，其中，所述胺化合物的含量是所述光致抗蚀剂去除用组合物总重量的约2重量％～约10重量％。

14.如权利要求1所述的组合物，其中，所述组合物还包含剥离助剂。

15.如权利要求14所述的组合物，其中，所述剥离助剂是选自由单甲醇胺、乙二胺、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、1-氨基-2-丙醇、二乙醇胺、氨基-二-丙醇胺、2-甲基氨基乙醇、N-甲基乙醇胺和三乙基氨基乙醇组成的组中的物质。

16.如权利要求14所述的组合物，其中，所述剥离助剂的含量是所述光致抗蚀剂去除用组合物总重量的约1重量％～约10重量％。

17.如权利要求16所述的组合物，其中，所述剥离助剂的含量是所述组合物总重量的约1重量％～约5重量％。

18.如权利要求1所述的组合物，其中，所述缓蚀剂是选自由苯并三唑、甲苯并三唑、巯基苯并咪唑、巯基甲基苯并咪唑、巯基甲基咪唑、羟基吡啶、二羟基吡啶、三羟基苯甲酸甲酯、儿茶酚、连苯三酚、L-抗坏血酸和D-异抗坏血酸组成的组中的物质。

19.如权利要求1所述的组合物，其中，所述缓蚀剂的含量是所述组合物的总重量的约0.1重量％～约5重量％。

20.如权利要求19所述的组合物，其中，所述缓蚀剂的含量是所述组合物的总重量的约0.3重量％～约1重量％。