[发明专利]准分子灯

说明书

技术领域

本发明涉及一种准分子灯，其具备：二氧化硅玻璃构成的放电容 器以及介设有形成该放电容器的二氧化硅玻璃的一对电极，在上述放 电容器内发生准分子放电。

背景技术

近年来，开发了通过将波长为200nm以下的真空紫外光照射在由 金属、玻璃或其他材料构成的被处理体上，利用真空紫外光及由此生 成的臭氧的作用，例如除去附着于被处理体表面的有机污染物质的洗 净处理技术、或在被处理体表面形成氧化膜的氧化膜形成处理技术等 处理被处理体的技术，并进行实用化。

作为照射真空紫外光的装置，例如公知的有将通过准分子放电形 成受激准分子，利用从该受激准分子放射的例如波长为170nm附近的 光的准分子灯作为光源的装置，为了使用这种准分子灯更高效率地放 射更高强度的紫外线，实施很多尝试。

图11是表示如专利文献1所示的已知技术的准分子灯的构成的 图，图11(a)是表示从通过准分子灯100的管轴的截面观察的剖视图， 图11(b)是从图第11(a)所示的准分子灯100的A-A观察的剖视图。

如上述图所示，该准分子灯100设有由透射紫外线的二氧化硅玻 璃构成的放电容器101、以及分别设在放电容器101的内侧与外侧的电 极102、103，在曝露于放电空间S的准分子放电的放电容器101内表 面上形成有紫外线反射膜104。并且，在放电容器101的一部分上，形 成有通过不形成紫外线反射膜104来出射放电空间S内产生的紫外线 的光出射部105。进而，根据专利文献1的记载，作为紫外线反射膜 104，记载有仅由二氧化硅粒子构成的反射膜、以及仅由氧化铝粒子构 成的反射膜。

根据这种构成的准分子灯100，在被曝露于放电空间S内产生的 准分子放电的放电容器101的内表面上设有紫外线反射膜104，因而在 设有紫外线反射膜104的区域中，放电空间S内产生的紫外线通过紫 外线反射膜104被反射，不会入射到二氧化硅玻璃，透射光出射部105 的二氧化硅玻璃而被放射至外部，因而可以有效地利用放电空间S内 产生的紫外线。

专利文献1：日本专利第3580233号公报

然而，该准分子灯100存在当将灯点灯时，紫外线反射膜104的 端部剥落的问题。从紫外线反射膜104剥落的切片停留在放电容器101 内，因而也停留在作为光出射部105的放电容器101的内表面。因此， 从光出射窗放射的准分子光被从紫外线反射膜104剥落的切片遮住， 减少准分子灯100的放射光量。

发明内容

本发明的目的是鉴于上述的问题点，提供一种准分子灯，紫外线 反射膜构成为可透射红外光，减少形成有紫外线反射膜的部分的放电 容器与紫外线反射膜的温度差，防止紫外线反射膜从放电容器剥落， 可长时间地将准分子光的放射光量维持在预定范围。

本发明为了解决上述课题，采用如下方案。

第1方案是一种准分子灯，具备：具有放电空间的二氧化硅破璃 构成的放电容器；以及介设有形成该放电容器的二氧化硅玻璃的一对 电极，在上述放电空间内封入有氙气体，在上述放电空间内发生准分 子放电，其特征在于：在曝露于准分子放电的上述放电容器内表面上， 形成由包含二氧化硅粒子的紫外线散射粒子构成的紫外线反射膜，以 波长4560nm的光透射上述紫外线反射膜及透射厚度为1mm的二氧化 硅玻璃进行测定时的透射率为10％以上。

第2方案是一种准分子灯，具备：具有放电空间的二氧化硅玻璃 构成的放电容器；以及介设有形成该放电容器的二氧化硅玻璃的一对 电极，在上述放电空间内封入有氙气体，在上述放电空间内发生准分 子放电，其特征在于：在曝露于准分子放电的上述放电容器内表面上， 形成由包含二氧化硅粒子的紫外线散射粒子构成的紫外线反射膜，该 紫外线反射膜的膜厚y(μm)在将构成该紫外线反射膜的紫外线散射粒 子的中心粒径设为x(μm)时，在x<0.9，满足y≤-210x+293的关系， 在0.9≤x<2.7，满足y≤-34x+127的关系、在2.7≤x，满足y≤-5.5x+49 的关系。

第3方案是在第1方案或第2方案的准分子灯中，作为上述紫外 线散射粒子，包含氧化铝粒子。

第4方案是在第1至第3方案的准分子灯中，上述紫外线反射膜 的膜厚y(μm)在构成该紫外线反射膜的紫外线散射粒子的中心粒径设 为x(μm)时，满足y≥4x+5的关系。