[发明专利]准分子灯

权利要求书

1.一种准分子灯，具备：具有放电空间的二氧化硅玻璃构成的放 电容器；以及介设有形成该放电容器的二氧化硅玻璃的一对电极，在 上述放电空间内封入有氙气体，在上述放电空间内发生准分子放电， 其特征在于：

在曝露于准分子放电的上述放电容器内表面上，形成由包含二氧 化硅粒子的紫外线散射粒子构成的紫外线反射膜，该紫外线反射膜的 膜厚y(μm)在将构成该紫外线反射膜的紫外线散射粒子的中心粒径设 为x(μm)时，在x＜0.9，满足y≤-210x+293的关系，在0.9≤x＜2.7， 满足y≤-34x+127的关系、在2.7≤x，满足y≤-5.5x+49的关系。

2.根据权利要求1所述的准分子灯，其特征在于，作为上述紫外 线散射粒子，包含氧化铝粒子。

3.根据权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，上述紫外 线反射膜的膜厚y(μm)在构成该紫外线反射膜的紫外线散射粒子的中 心粒径设为x(μm)时，满足y≥4x+5的关系。