[发明专利]三维存储器集成电路无效

专利信息
申请号: 200810183684.8 申请日: 2004-11-05
公开(公告)号: CN101694841A 公开(公告)日: 2010-04-14
发明(设计)人: 张国飙 申请(专利权)人: 张国飙
主分类号: H01L27/06 分类号: H01L27/06;H01L27/105;H01L23/522
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610051 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 三维 存储器 集成电路
【权利要求书】:

1.一种三维存储器集成电路,其特征在于含有一嵌入式处理器区域(0EP)和一嵌入 式存储器区域(0EM),并含有紧邻的第一和第二互连线层(IL3,IL4),其中:

1)所述嵌入式处理器区域内含有多个通道孔(38),所述通道孔对所述 第一和第二互连线层提供双向电连接;

2)所述嵌入式存储器区域上含有多个三维存储器(3D-M)膜(36),所 述3D-M膜为所述第一和第二互连线层提供单向电连接。

2.根据权利要求1所述的三维存储器集成电路,其特征还在于:所述第一或第二 互连线层中至少有一层为混合型互连线层(ILx),该混合型互连线层在所述嵌入 式处理器区域含有第一导线(30L),在所述嵌入式存储器区域含有第二导线 (30M),所述第一和第二导线含有不同导体材料。

3.根据权利要求2所述的三维存储器集成电路,其特征还在于:所述第一导线(30L) 与该通道孔(38)相接触;所述第二导线(30M)与该3D-M膜(36)接触。

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