[发明专利]三维存储器集成电路无效
| 申请号: | 200810183684.8 | 申请日: | 2004-11-05 |
| 公开(公告)号: | CN101694841A | 公开(公告)日: | 2010-04-14 |
| 发明(设计)人: | 张国飙 | 申请(专利权)人: | 张国飙 |
| 主分类号: | H01L27/06 | 分类号: | H01L27/06;H01L27/105;H01L23/522 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 610051 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 三维 存储器 集成电路 | ||
1.一种三维存储器集成电路,其特征在于含有一嵌入式处理器区域(0EP)和一嵌入 式存储器区域(0EM),并含有紧邻的第一和第二互连线层(IL3,IL4),其中:
1)所述嵌入式处理器区域内含有多个通道孔(38),所述通道孔对所述 第一和第二互连线层提供双向电连接;
2)所述嵌入式存储器区域上含有多个三维存储器(3D-M)膜(36),所 述3D-M膜为所述第一和第二互连线层提供单向电连接。
2.根据权利要求1所述的三维存储器集成电路,其特征还在于:所述第一或第二 互连线层中至少有一层为混合型互连线层(ILx),该混合型互连线层在所述嵌入 式处理器区域含有第一导线(30L),在所述嵌入式存储器区域含有第二导线 (30M),所述第一和第二导线含有不同导体材料。
3.根据权利要求2所述的三维存储器集成电路,其特征还在于:所述第一导线(30L) 与该通道孔(38)相接触;所述第二导线(30M)与该3D-M膜(36)接触。
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





