[发明专利]阵列测试装置

权利要求书

1.一种阵列测试装置，包括：

至少一个调制器，其设置于待测试的基板的一侧，并且 沿第一轴线水平地移动，所述第一轴线与所述基板朝向所述调 制器移动的方向垂直；以及

至少一个光源，其具有的尺寸与所述调制器的尺寸相对 应，所述光源被设置成与所述调制器一一对应并向相应的调制 器发射光，并且当在所述基板上进行测试时所述光源被移动到 与所述调制器相应的位置。

2.根据权利要求1所述的阵列测试装置，进一步包括：

调制器移动组件，其沿第一轴线移动所述调制器；以及 光源移动组件，其使所述光源与所述调制器联合移动。

3.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中所述调制器包括：

传送基板；调制器电极层，在其自身与形成于所述基板上的电 极之间形成电场；以及电材料层，其根据所述电场的大小改变 从所述光源发射的光的量，并且所述传送基板、所述调制器电 极层和所述电材料层按照离所述基板最远到最近的顺序布置。

4.根据权利要求1所述的阵列测试装置，进一步包括：

基板支撑单元，其介于所述光源与所述基板之间，并抵 靠于所述基板上，且由透明材料制成以允许从所述光源发射的 光到达所述基板。