[发明专利]有机电致发光装置的制造方法和有机电致发光装置有效
申请号: | 200810180928.7 | 申请日: | 2008-11-18 |
公开(公告)号: | CN101442068A | 公开(公告)日: | 2009-05-27 |
发明(设计)人: | 武井周一;二村彻;内田昌宏 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L21/82 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 雒运朴;李 伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 电致发光 装置 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及有机电致发光装置的制造方法、和使用该方法制造的有 机电致发光装置。
背景技术
近年来,逐渐盛行一种使用作为光电元件之一的有机电致发光(以 下称为有机EL)元件,来进行有机EL显示器等电光学装置、线形头 (line head)等光记录头以及光打印机等图像形成装置等的开发。有机 EL元件一般具有在对置的一对电极间具备由有机材料构成的发光层的 构造。在使用了这种有机EL元件的有机EL装置中,通过借助与红色 (R)、绿色(G)、蓝色(B)各色对应的彩色滤光器,或者使用将各色 光射出的有机EL元件,从而成为能够进行全彩显示的构成。
对于上述的有机EL元件而言,其制造方法因在构成有机EL元件 的发光材料(以下称为“有机EL材料”)中使用高分子材料还是使用低 分子材料而不同。当有机EL材料为高分子材料时,已知有一种利用所 谓液滴喷出法来进行制造的方法。详细而言,通过使有机EL材料溶解 或分散于规定的溶剂中、形成液状组合物,使用液滴喷出法将该液状组 合物涂敷于规定的图像电极上,由此来制造有机EL元件。
在使用液滴喷出法进行液状组合物的涂敷时,可以将高度控制的微 量液状组合物涂敷到所希望的位置。因此,对于使用液滴喷出法的制造 方法而言,具有能够进行有机EL材料的高精细构图这样的优点。进而, 在该制造方法中,提出了一种在涂敷有机EL材料的图像电极的周围设 置隔壁(围堰),对各个像素之间进行划分的方案。通过设置围堰(bank), 可以抑制某个像素电极上被涂敷的有机EL材料的液状组合物与其他像 素电极上被涂敷的液状组合物相互混合,能够进行可靠的构图(例如参 照专利文献1~3)。
然而,近年来,为了降低在有机EL元件中流过的电流,或者为了 实现高亮度化,大多以包围多个有机EL元件的方式形成比围堰更高的 共用隔壁,形成由共用隔壁按多个像素进行划分的构造。这种构造的有 机EL装置可以通过上述的液滴喷出法同样地制造。即,是在形成有多 个有机EL元件的由共用隔壁围成的区域内利用液滴喷出法配置液滴, 通过对其进行干燥,形成与共用隔壁的多个有机EL元件相同种类的有 机EL材料的膜的方法。然而,在利用这种制造方法制造有机EL装置 时,会产生新的问题。这个问题就是,所配置的液体在干燥的过程中会 流动,从而产生膜厚的差异。
当在形成由共用隔壁围成的多个有机EL元件的过程中使用液滴喷 出法时,在由共用隔壁围成的区域的外周部,即共用隔壁的附近及由共 用隔壁围成的区域的中央部,所配置的液状组合物的干燥状态会产生差 异。其原因在于,由于在共用隔壁的附近,与共用隔壁所围成的区域的 中央部相比从液状组合物蒸发的溶剂分子的分压低,也就是说溶剂蒸汽 浓度低,所以会更加迅速地进行溶剂的蒸发。由于该蒸发速度的差异, 即使是同样涂敷在区域内的液状组合物,也会在快速蒸发的位置和缓慢 蒸发的位置之间产生体积差。因此,液状组合物会从溶剂蒸发几乎不进 行的区域向进行溶剂蒸发而体积减少的区域流动。结果,在所形成的膜 上产生因形成位置而引起的膜厚之差(膜厚不均)。由于该膜厚不均表 现为发光量的差异,所以亮度、色调产生差异,结果成为显示不佳(显 示不均)的原因。
另外,共用隔壁附近的膜厚还会因液状组合物与共用隔壁的亲液性 或者疏液性而受到影响。例如,由于亲液性高的隔壁附近的液状组合物 即使在干燥过程中,也会在隔壁表面润湿扩展,所以在共用隔壁附近沿 着共用隔壁隆起,形成大的膜厚而产生膜厚不均。针对这些问题,在专 利文献4中提出了一种离开共用隔壁一定距离以上地形成有机EL元 件,来抑制膜厚不均的方法。
专利文献1:特开2002-334782号公报
专利文献2:特开2002-372921号公报
专利文献3:日本专利第3036436号公报
专利文献4:特开2007-87693号公报
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的