[发明专利]薄膜晶体管基板、具有其的液晶显示器及其制造方法有效
| 申请号: | 200810177818.5 | 申请日: | 2008-12-01 |
| 公开(公告)号: | CN101452941A | 公开(公告)日: | 2009-06-10 |
| 发明(设计)人: | 严允成;柳在镇;刘惠兰;朴乘范;金勋 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
| 主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L23/522;H01L21/84;G02F1/136;G02F1/1362 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 张 波 |
| 地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 薄膜晶体管 具有 液晶显示器 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明一般地涉及一种薄膜晶体管基板、具有这种薄膜晶体管基板的液 晶显示器及其制造方法。更具体地,本发明涉及具有改进的侧面可见度(side visibility)的一种薄膜晶体管基板、具有这种薄膜晶体管基板的液晶显示器 及其制造方法。
背景技术
诸如移动电话、电视以及膝上型计算机等多种电子装置都包括用于显现 图像的显示器。近来,平板显示器由于其紧凑且纤薄的尺寸而得到广泛应用。
液晶显示(LCD)器是一种广泛应用的平面显示器,其包括两个基板以 及位于两个基板之间的液晶层,所述两个基板具有诸如像素电极和公共电极 这样用于产生电场的电极。在LCD工业领域中,宽视角技术得到发展,以 克服LCD侧面可见度的局限性,例如图像失真。
典型的宽视角技术采用垂直对准(VA)模式。在VA模式中,宽视角可 以通过采用边缘电场使得液晶分子被对称地驱动而获得,所述边缘电场是由 配置在公共电极和像素电极上的缝隙或突出物而产生的。
为了提高侧面可见度,一个像素电极可以分成两个不同的子像素电极, 其接收具有不同灰度的电压。近来的研究集中在减少制造工艺中的步骤数 量。
发明内容
本发明提供一种薄膜晶体管(TFT)基板,其具有改进的侧面可见度以 及简化的制造工艺。
本发明的附加特征将在以下的描述中阐明,其中的一部分可以从描述中 显而易见,或者可以通过本发明的实践而获得。
本发明公开了一种薄膜晶体管基板,其包括第一、第二和第三薄膜晶体 管,第一和第二子像素电极,第一辅助电极以及对电极。第一和第二薄膜晶 体管连接到第N条栅线和第M条数据线,并且第一和第二子像素电极分别 连接到第一和第二薄膜晶体管。第三薄膜晶体管包括连接到第N+1条栅线的 栅电极、与栅电极交叠的半导体层、连接到第二子像素电极并与栅电极部分 地交叠的源电极以及面向源电极的漏电极。第一辅助电极连接到漏电极,并 且配置在与第一和第二子像素电极相同的层上。对电极配置在与栅线相同的 层上,并且与第一辅助电极至少部分地交叠,至少一个绝缘层设置在对电极 与第一辅助电极之间。
本发明还公开了一种薄膜晶体管基板,其包括第一、第二和第三薄膜晶 体管,第一和第二子像素电极以及第一和第二辅助电极。第一和第二薄膜晶 体管连接到第N条栅线和第M条数据线,并且第一和第二子像素电极分别 连接到第一和第二薄膜晶体管。第三薄膜晶体管包括连接到第N+1条栅线的 栅电极、与栅电极交叠的半导体层、电连接到第二子像素电极并与栅电极部 分地交叠的源电极以及面向源电极的漏电极。第一辅助电极连接到漏电极, 并且配置在与第一和第二子像素电极相同的层上,以及第二辅助电极配置在 与栅线相同的层上,并且与第一子像素电极至少部分地交叠,至少一个绝缘 层设置在第二辅助电极与第一子像素电极之间。
本发明也公开了一种制造薄膜晶体管基板的方法,包括通过第一掩模工 艺形成栅极图案,在栅极图案上形成栅绝缘层,在栅绝缘层上形成掺杂非晶 硅层,通过第二掩模工艺形成数据图案,通过第三掩模工艺形成至少一个保 护层,以及通过第四掩模工艺形成第一子像素电极、第二子像素电极以及第 一辅助电极。栅极图案包括栅线、第一栅电极、第二栅电极、第三栅电极、 存储线以及对电极,并且数据图案包括数据线、第一源电极、第二源电极和 第三源电极、第一漏电极、第二漏电极以及第三漏电极。第一辅助电极与对 电极至少部分地交叠,并且栅绝缘层和至少一个保护层位于第一辅助电极与 对电极之间。
应当理解以上的概要描述和以下的详细描述都是示范性和解释性的,并 且是用来为所要求保护的本发明提供进一步的说明。
附图说明
本申请包括附图以提供对本发明的进一步理解,并且附图被合并到本说 明书中且构成本说明书的一部分,附图示出本发明的实施方式,并且与描述 一起用于解释本发明的原理。
图1为示出根据本发明的一个示范性实施方式的TFT基板的第n个像素 区域的等效电路图。
图2为示出根据本发明的一个示范性实施方式的液晶显示器的像素区域 的平面图。
图3为图2的液晶显示器沿线I-I’的横截面图。
图4为示出根据本发明的另一个示范性实施方式的液晶显示器的像素区 域的平面图。
图5为图4的液晶显示器沿线I-I’的横截面图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





