[发明专利]薄板夹持装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种薄板夹持装置，特别是关于一种用于工艺中夹持 掩膜、晶片、玻璃基板及液晶显示面板等元件的夹持装置，通过此可 稳固地夹取存放于承载盒中的掩膜或半导体元件。

背景技术

在半导体制造过程中，清洁是不可或缺的重要步骤之一，其主要 的目的在于彻底清除半导体元件或掩膜表面残留的有机物质、污染 物、化学残留物等，否则被污染的半导体元件或掩膜一旦流入后续的 工艺中，将会对产品的质量以及产线的产能造成负面的影响。

而光刻技术(Optical Lithography)则在半导体工艺当中扮演重 要的角色，只要是关于图形(pattern)定义，皆需依赖光刻技术，光 刻技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可 透光的掩膜(photo mask)，利用曝光原理，光源通过掩膜投影至硅晶 片(silicon wafer)可曝光显示特定图案。其中会经过多道湿式工艺 与后续工艺交替，而在这两种工艺交替转换的过程中，需要将半导体 元件或掩膜等元件由保存盒体或承载盒内夹持取出，以利将残留在半 导体元件或掩膜上的药剂或水分及其它任何残留物清除，避免影响后 续工艺，同时，半导体元件或掩膜在移动或储存中产生的灰尘及其它 异物，亦须做彻底的清洁，以免造成任何影响到后续工艺的可能。

而依照不同工艺需求，半导体元件或掩膜需经过风干的程序，因 此在执行该程序时要将半导体元件或掩膜取出并稳定的夹持着，以利 相关作业。特别因掩膜价值不斐，处理过程中每个步骤都需格外小心， 尤其在取出保存盒体进行相关作业时，更须特别小心，以免认何损伤 的产生而造成经济上的损失。然而现有的半导体相关装置，夹持机构 设计不够稳定，且动作程序流程亦不够顺畅，不仅无法满足不同种类 的作业需求，造成工艺上的不便，又可能提高半导体元件或掩膜损伤 的机率。

发明内容

为解决上述问题，本发明的一主要目的在于提供一种薄板夹持装 置，其可稳固的夹取存放于承载盒中的掩膜或半导体元件。

本发明的另一主要目的在于提供一种薄板夹持装置，于具有凹槽 的夹头上配置一对或多对滚轮，可增加夹持薄板的稳定性与密合度， 避免不当或不稳固的夹持而导致薄板受损。

本发明的又一主要目的在于提供一种薄板夹持装置，其夹头上配 置的滚轮是以PEEK或弹性橡胶材质所制成，可大幅降低因摩擦所产 生的尘粒(particle)影响薄板的洁净度。

本发明一种薄板夹持装置，其包含至少一对支架，而每一该支架 之一端与一连接架扣接，且于每一该支架上配置至少一凸轮槽，而每 一该凸轮槽的两端构成一移动路径，以及每一该凸轮槽与一夹持臂之 一端扣接，并通过该夹持臂的另一端夹持住该薄板，其中该薄板夹持 装置的每一该夹持臂的该另一端上形成一具有凹槽的夹头，并于该夹 头的该凹槽上配置至少一对滚轮。

本发明一种薄板夹持装置，其包含至少一支架，该支架是以一端 固设于一座体上，且于该支架上配置至少一凸轮槽，而每一该凸轮槽 的两端构成一移动路径，以及每一该凸轮槽与一夹持臂的一端扣接， 并通过该夹持臂的另一端夹持住该薄板，其中该薄板夹持装置的每一 该夹持臂的该另一端上形成一具有凹槽的夹头，并于该夹头的该凹槽 上配置至少一对滚轮。

本发明的有益效果是，所提供的薄板夹持，其机构设计稳定，且 动作程序流程顺畅，不仅满足不同种类的作业需求，又可以避免半导 体元件或掩膜损伤的机率。

附图说明

图1是本发明薄板夹持装置的一正视图；

图2是本发明的夹持臂的一等角视图；

图3是本发明薄板夹持装置的一正视图；

图4是本发明薄板夹持装置的一正视图；

图5是本发明齿轮模块结构的一示意图。

【主要元件符号说明】

薄板夹持装置   1

座体           10

支架           12

凸轮槽         14

夹持臂         16

薄板           18

从动滚子       20

连结架         22

旋转部         24

动力源         26