[发明专利]薄板夹持装置有效
| 申请号： | 200810170346.0 | 申请日： | 2008-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN101728299A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 潘勇顺;杨家豪 | 申请（专利权）人： | 家登精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;B25J15/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄板 夹持 装置 | ||
1.一种薄板夹持装置，其包含至少一对支架，而每一该支架的一端 与一连接架扣接，且于每一该支架上配置至少一凸轮槽，而每一该凸轮槽 的两端构成一移动路径，以及每一该凸轮槽与一夹持臂的一端扣接，并通 过该夹持臂的另一端夹持住该薄板，其特征在于：
该薄板夹持装置的每一该夹持臂的该另一端上形成一具有相互对称 形状的凹槽所形成的夹头，并于该夹头的该相互对称形状的凹槽上配置至 少一对滚轮。
2.根据权利要求1所述的薄板夹持装置，其特征在于：该相互对称 形状的凹槽的形状是由下列组合中选出：v型、直角型及弧型。
3.根据权利要求1所述的薄板夹持装置，其特征在于：该滚轮的材 质是选自以下所构成的群组：PEEK以及弹性橡胶。
4.根据权利要求1所述的薄板夹持装置，其特征在于：该凸轮槽的 移动路径是由下列组合中选出：S型、Z型及平行四边型。
5.根据权利要求1所述的薄板夹持装置，其特征在于：所述薄板夹 持装置进一步包括一步进马达，用以驱动该些夹持臂。
6.根据权利要求1所述的薄板夹持装置，其特征在于：该连结架上 配置一旋转部。
7.根据权利要求1所述的薄板夹持装置，其特征在于：该薄板是由 下列组合中选出：掩膜、晶片、玻璃基板及液晶显示面板。
8.根据权利要求1所述的薄板夹持装置，其特征在于：该夹持臂另 具有一从动滚子设于与该凸轮槽扣接之处。
9.一种薄板夹持装置，其包含至少一支架，该支架是以一端固设于 一座体上，且于该支架上配置至少一凸轮槽，而每一该凸轮槽的两端构成 一移动路径，以及每一该凸轮槽与一夹持臂的一端扣接，并通过该夹持臂 的另一端夹持住该薄板，其特征在于：该薄板夹持装置的每一该夹持臂的 该另一端上形成一具有相互对称形状的凹槽所形成的夹头，并于该夹头的 该相互对称形状的凹槽上配置至少一对滚轮。
10.根据权利要求9所述的薄板夹持装置，其特征在于：该夹持臂另 具有至少一齿轮模块设于与该凸轮槽枢接之处。
11.根据权利要求10所述的薄板夹持装置，其特征在于：该齿轮模 块是由一第一齿条、一第二齿条以及一具有齿轮槽的转动齿轮所组成。
12.根据权利要求11所述的薄板夹持装置，其特征在于：该第一齿 条设于该支架上，该第二齿条设于该夹持臂上，该转动齿轮是以一端固设 于该座体上。
13.根据权利要求11所述的薄板夹持装置，其特征在于：该转动齿 轮的齿轮槽是由一第一啮合部以及一第二啮合部组合而成。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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