[发明专利]植球方法无效
申请号: | 200810170216.7 | 申请日: | 2008-10-09 |
公开(公告)号: | CN101719475A | 公开(公告)日: | 2010-06-02 |
发明(设计)人: | 郭丰锭;徐宏欣 | 申请(专利权)人: | 力成科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 北京泛诚知识产权代理有限公司 11298 | 代理人: | 文琦;杨本良 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种植球方法,特别是一种球栅阵列(Ball Grid Array,BGA)封装产品的植球方法。
现有技术
半导体科技随着计算机与网络通信等产品的功能而急速提升,必需具备多元化、可移植性与轻薄微小化的需求,使芯片封装业必须朝着高效率、高密度、轻、薄与微小化等高精密度工艺发展。
另外,为适应科技产品的功能日趋精致的需求以及IC封装的接脚数越来越多的趋势,IC尺寸缩小也就更为迫切,利用传统表面粘连技术的IC封装渐渐无法适应这些要求。因此,市场主流技术开始由导线架式封装转向植球式封装。
通常,一般如球栅阵列的封装产品在完成封装后需要进行置放锡球的工艺,即,利用植球方法以及吸球装置将锡球设置在基板上。然而,现有的植球方法与装置,都只能适用于单一种封装产品的应用,当不同封装结构须要植球工艺时,则需设计新的植球装置以符合新的基板布线。
发明内容
为解决上述问题,本发明目之一为提供一种植球方法,利用可共享的植球器具来节省器具的制作费用以及器具制作的时间。
为了达到上述目的,本发明实施例的植球方法,包括下列步骤:设置基板,其中基板具有图案化地设置在基板表面上的多个焊垫;利用转移器具将助焊剂转移到焊垫上,其中转移器具有多个满版设置的接脚,使部分助焊剂设置在基板表面上;在置球器具上设置多个焊球,其中置球器具具有多个满版设置以放置焊球的置球孔;利用吸球器具吸附部分焊球,其中吸球器具在与焊垫对应的位置处具有多个吸球孔;以及将吸附在吸球器具上的焊球设置在焊垫上的助焊剂上。
以下通过具体实施例结合附图详细说明,可以更容易了解本发明的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。
附图说明
图1A至图1G为本发明实施例的植球方法的结构的侧视图。
图2A至图2D本发明实施例的每一器具或结构的局部俯视或仰视图。
主要组件符号说明
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造