[发明专利]光罩验证系统及程序

说明书

技术领域

本发明涉及到一种为了进行所希望的曝光而进行是否制作了光罩数据(reticle data)的验证的光罩验证系统，尤其涉及到一种进行平板显示器制作用光罩数据的验证的光罩验证系统。

背景技术

平板显示器(FPD)制作用光罩数据在面板布局数据上规定拍摄框，作为曝光要素(以下也称为重复要素)剪切制作，包括上述曝光要素的图形数据及表示面板基板上的曝光位置的坐标信息。

利用上述光罩数据转印到FPD面板基板上时，使用上述光罩数据的配置曝光要素的坐标信息，在曝光装置中转印到FPD的面板基板上。

此时，当光罩上设置的曝光要素的图形数据或上述坐标信息中存在错误时，不仅浪费光罩，而且浪费面板基板。尤其是在制作平板显示器用的光罩数据时，需要人力进行曝光区域分割的情况较多，易产生错误。

为了防止这一点，考虑根据光罩图像数据和坐标信息模拟曝光装置并进行验证的方法。其中，在曝光装置和模拟的关系中，例如包括实现曝光装置的成本优化的技术。专利文献1提供如下方法：使用模拟器，在曝光装置中降低时间和劳力，优化测量条件的测量条件优化方法。但是，专利文献1仅仅公开了想要进行测量条件优化的发明。

一般情况下，平板显示器用的面板基板的大小是远远超过曝光装置的曝光范围的大小。因此，安装在曝光装置的光罩小于面板基板，在光罩上将剪切了面板基板上的一部分的要素作为曝光要素配置。

使用光罩通过曝光装置曝光时，反复配置光罩上的曝光要素进行曝光，从而制造出平板显示器用面板基板。

因此，在制作光罩时，进行显示面板区域的分割和显示器布局数据的切断，制作光罩的曝光要素等，另一方面，制作显示面板时，通过反复曝光制作面板基板，因此在布局数据切断和曝光要素反复配置时，易产生错误。

并且，即使在不伴随布局数据切断的情况下，也需要显示面板区域的分割，因此必须实施曝光要素的反复配置的指定。此时，存在产生反复配置的指示错误的情况非常多。因此，要求在制造的前工序中预先验证曝光结果的验证单元。

专利文献1：日本特开2006-140204号公报

发明内容

本发明的课题在于提供一种可预先验证光罩上设置的曝光要素的曝光结果的光罩验证系统。

并且，本发明的课题在于提供一种通过模拟曝光装置的动作可预先验证曝光要素的曝光结果的光罩验证系统。

并且，本发明的课题在于提供一种由计算机执行、适于构建上述光罩验证系统的光罩验证用程序。

根据本发明，提供一种光罩验证系统，其特征在于，具有：存储单元，存储：平板显示器曝光用光罩中含有的曝光要素的图形数据；以及由网格格子点的坐标表现，表示显示面板上的上述曝光要素的曝光位置的坐标信息；布局图形要素生成单元，根据上述存储单元中存储的曝光要素的图形数据及坐标信息，生成和上述曝光要素对应的上述显示面板上的布局图形要素；验证单元，根据上述布局图形要素生成单元生成的上述显示面板上的多个布局图形要素的位置关系，验证上述曝光要素；以及显示单元，显示上述验证单元验证的结果。

布局图形要素生成单元根据存储单元中存储的曝光要素的图形数据及坐标信息，生成与上述曝光要素对应的上述显示面板上的布局图形要素。检测单元根据上述布局图形要素生成单元生成的上述显示面板上的多个布局图形要素的位置关系，验证上述曝光要素。显示单元显示上述验证单元验证的结果。

其中，上述显示单元至少具有显示验证结果的窗口，上述验证单元通过进行与上述多个布局图形要素对应的网格格子之间的计算处理，验证上述多个曝光要素，上述显示单元将上述验证单元的验证结果所获得的图形显示到上述窗口上。

并且，上述光罩的数据将定义晶体管图形的中间层、或定义了晶体管图形的外部程序库作为中间层持有，并且具有使定义上述晶体管图形的中间层或外部程序库通过指针构造根据需要而展开的、具有表格构造的展开单元。

并且，上述验证单元具有差异抽取单元，其在进行了二个布局图形要素的逻辑OR处理后，进行上述任意一个布局图形要素和与上述逻辑OR结果所获得的图形要素中的该布局图形要素所对应的区域的逻辑XOR处理或差分处理，从而抽取上述二个布局图形要素的差异。

并且，上述验证单元具有重叠量检测单元，通过进行二个布局图形要素的逻辑AND处理，检测出上述二个布局图形要素的重叠量。

并且，上述验证单元具有偏移验证单元，验证上述重叠量检测单元检测出的重叠量是否满足所指示的偏移值。