[发明专利]光罩验证系统及程序

权利要求书

1.一种光罩验证系统，其特征在于，具有：

存储单元，存储：平板显示器曝光用光罩中含有的曝光要素的图形数据；以及由网格格子点的坐标表现，表示显示面板上的上述曝光要素的曝光位置的坐标信息；

布局图形要素生成单元，根据上述存储单元中存储的曝光要素的图形数据及坐标信息，生成和上述曝光要素对应的上述显示面板上的布局图形要素；

验证单元，根据上述布局图形要素生成单元生成的上述显示面板上的多个布局图形要素的位置关系，验证上述曝光要素；以及

显示单元，显示上述验证单元验证的结果，

上述光罩的数据将定义晶体管图形的中间层、或定义了晶体管图形的外部程序库作为中间层持有，

并且具有使定义上述晶体管图形的中间层或外部程序库通过指针构造根据需要而展开的、具有表格构造的展开单元。

2.根据权利要求1所述的光罩验证系统，其特征在于，

上述显示单元至少具有显示验证结果的窗口，

上述验证单元通过进行与上述多个布局图形要素对应的网格格子点之间的计算处理，验证上述多个曝光要素，

上述显示单元将上述验证单元的验证结果所获得的图形显示到上述窗口上。

3.根据权利要求1所述的光罩验证系统，其特征在于，上述验证单元具有差异抽取单元，其在进行了二个布局图形要素的逻辑OR处理后，进行上述任意一个布局图形要素和上述逻辑OR结果所获得的图形要素中的该布局图形要素所对应的区域的逻辑XOR处理或差分处理，从而抽取上述二个布局图形要素的差异。

4.根据权利要求1所述的光罩验证系统，其特征在于，上述验证单元具有重叠量检测单元，通过进行二个布局图形要素的逻辑AND处理，检测出上述二个布局图形要素的重叠量。

5.根据权利要求4所述的光罩验证系统，其特征在于，上述验证单元具有偏移验证单元，验证上述重叠量检测单元检测出的重叠量是否满足所指示的偏移值。

6.根据权利要求4或5所述的光罩验证系统，其特征在于，上述验证单元具有要素判断单元，在上述重叠量检测单元检测出没有上述二个布局图形要素的重叠量后，进行逻辑OR处理，当确认了二个布局图形要素形成关闭的一个图形的结果时，判断上述二个布局图形要素是连续的图形要素。

7.根据权利要求1所述的光罩验证系统，其特征在于，

上述各曝光要素中含有图形要素及包围上述图形要素的预定宽的百叶框，

上述验证单元具有终点验证单元，对于与上述百叶框内边缘对应的上述显示面板上的网格格子点，验证在规定偏移值的范围内是否存在上述图形要素的布局图形要素的终点。

8.根据权利要求1所述的光罩验证系统，其特征在于，

具有指定单元，指定含有错误的验证结果的错误层，

当上述显示单元在表示上述验证结果的窗口上显示错误图形信息时，以层单位在上述窗口上显示上述指定单元指定的错误层的错误图形信息。

9.根据权利要求8所述的光罩验证系统，其特征在于，

上述显示单元具有与显示上述验证结果的窗口不同的对话框，

上述指定单元在上述对话框上指定上述错误层，

上述显示单元在上述对话框上显示错误个数，并且响应上述指定单元对错误层的指定，将该层的错误图形信息显示到上述窗口上。