[发明专利]液晶显示装置及其制造方法

权利要求书

1.一种液晶显示装置的制造方法，其特征在于，包括：

在基板上形成具有漏电极的开关元件的步骤；

形成覆盖上述漏电极的第1绝缘膜的步骤；

在上述第1绝缘膜中形成使上述漏电极露出的开口部的步骤；

覆盖上述开口部、形成与上述漏电极连接的第1蚀刻阻挡电极，同时在上述第1绝缘膜上形成共用电极的步骤；

覆盖上述第1蚀刻阻挡电极和上述共用电极，形成第2绝缘膜的步骤；

第1蚀刻步骤，其中，有选择地对上述第1蚀刻阻挡电极上的上述第2绝缘膜进行蚀刻；

第2蚀刻步骤，其中，在上述第1蚀刻步骤之后，通过蚀刻来去除上述第1蚀刻阻挡电极上的残留物；以及

在上述第2蚀刻步骤之后，形成像素电极的步骤，该像素电极与上述第1蚀刻阻挡电极连接，在上述第2绝缘膜上延伸，与上述共用电极对向。

2.根据权利要求1所述的液晶显示装置的制造方法，其特征在于：

与上述开关元件的漏电极同时地，形成外部连接用的下层电极；

与上述第1蚀刻阻挡电极同时地，形成与上述下层电极连接的第2蚀刻阻挡电极；

通过上述第2绝缘膜，覆盖上述第2蚀刻阻挡电极；

通过上述第1蚀刻步骤，有选择地蚀刻第2蚀刻阻挡电极上的上述第2绝缘膜；

通过上述第2蚀刻步骤，以蚀刻方式来去除上述第2蚀刻阻挡电极上的残留物；

在上述第2蚀刻步骤后，与上述像素电极的形成同时地，在上述第2蚀刻阻挡电极上，形成外部连接用的上层电极。

3.一种液晶显示装置的制造方法，其特征在于，包括：

在基板上形成开关元件和共用电极线的步骤；

形成上述开关元件的漏电极和上述共用电极线的引出线的步骤；

形成覆盖上述漏电极和上述引出线的第1绝缘膜的步骤；

在上述第1绝缘膜中形成使上述漏电极露出的第1开口部和使上述引出线露出的第2开口部的步骤；

形成通过上述第2开口部与上述引出线连接的第1蚀刻阻挡电极，同时在上述第1绝缘膜上形成像素电极的步骤；

覆盖上述第1蚀刻阻挡电极和上述像素电极，形成第2绝缘膜的步骤；

第1蚀刻步骤，其中，有选择地蚀刻上述第1蚀刻阻挡电极上的上述第2绝缘膜；

第2蚀刻步骤，其中，在上述第1蚀刻步骤后，通过蚀刻而去除上述第1蚀刻阻挡电极上的残留物；以及

在上述第2蚀刻步骤之后，形成共用电极的步骤，该共用电极与上述第1蚀刻阻挡电极连接，在上述第2绝缘膜上延伸，与上述像素电极对向。

4.一种液晶显示装置的制造方法，其特征在于，包括：

在基板上形成开关元件的步骤；

形成上述开关元件的漏电极和共用电极线的步骤；

形成覆盖上述漏电极和上述共用电极线的第1绝缘膜的步骤；

在上述第1绝缘膜中形成使上述漏电极露出的第1开口部和使上述共用电极线露出的第2开口部的步骤；

形成通过上述第2开口部与上述共用电极线连接的第1蚀刻阻挡电极，同时在上述第1绝缘膜上形成像素电极的步骤；

覆盖上述第1蚀刻阻挡电极和上述像素电极，形成第2绝缘膜的步骤；

第1蚀刻步骤，其中，有选择地蚀刻上述第1蚀刻阻挡电极上的上述第2绝缘膜；

第2蚀刻步骤，其中，在上述第1蚀刻步骤后，通过蚀刻而去除上述第1蚀刻阻挡电极上的残留物；以及

在上述第2蚀刻步骤之后，形成共用电极的步骤，该共用电极与上述第1蚀刻阻挡电极连接，在上述第2绝缘膜上延伸，与上述像素电极对向。

5.根据权利要求3或4所述的液晶显示装置的制造方法，其特征在于：

与上述漏电极同时地，形成外部连接用的下层电极；

与上述第1蚀刻阻挡电极同时地，形成与上述下层电极连接的第2蚀刻阻挡电极；

通过上述第2绝缘膜覆盖上述第2蚀刻阻挡电极；

通过上述第1蚀刻步骤，有选择地蚀刻第2蚀刻阻挡电极上的上述第2绝缘膜；

通过上述第2蚀刻步骤，以蚀刻方式去除上述第2蚀刻阻挡电极上的残留物；

在上述第2蚀刻步骤之后，与上述共用电极的形成同时地，在上述第2蚀刻阻挡电极上形成外部连接用的上层电极。

6.根据权利要求1～4中的任意一项所述的液晶显示装置的制造方法，其特征在于：上述第1蚀刻步骤为干式蚀刻步骤，上述第2蚀刻步骤为湿式蚀刻步骤。