[发明专利]带永久基体改进剂的金属钨或钽平台石墨管的制作方法

权利要求书

1.带永久改进剂的金属钨或钽平台石墨管的制作方法包括；(一)电镀铱或钌2 -3mg在金属钨或钽平台内壁，再按装入热解石墨管，End  cap  THGA型 金属钨或钽平台石墨管(WTaPGT)尺寸如下，

(一)end cap THGA型钨钽石墨管；(1)进样孔1.6mm，(2)热解镀层石墨管外径8.1mm， 内径5.9mm，热解石墨镀层厚0.05mm长22mm，(3)帽(end cap)为外径5.9mm内径4mm 长2mm石墨环，(4)钽片厚0.2mm长18mm宽Ymm满足卷成外径为5.9mm钽片筒，上下 边中央剪成半径2.35mm半圆型或三角型为进样孔，(5)0.5mm钨丝在钢棒上卷成两端各8 圈共16圈钨丝圈，紧配插入钽片筒中，

HGA型WTaPGT尺寸如下，

(二)HGA型钨钽石墨管；(1)进样孔1.6mm，(2)热解镀层石墨管外径8.1mm，内径5.9mm， 热解石墨镀层厚0.05mm长28mm，(3)end cap为外径5.9mm内径4mm长2mm石墨环，(4) 钽片厚0.2mm长18mm宽Ymm满足卷成外径为5.9mm钽片筒，上下边中央剪成半径2.35mm 半圆型或三角型为进样孔，(5)0.5mm钨丝在钢棒上卷成两端各8圈共16圈钨丝圈，紧配插 入钽片筒中，

电镀液配方可用下列配方之一；(1)IrCl₃5-15g/l，NH₂SO₃H25g/l，50℃， 30mA/cm²，(2)(NH₄)₂IrCl₆24g/l，H₃BO₃40g/l，pH5，70℃， 35mA/cm²，(3)(NH₄)₂IrCl₆2.5g/l，Na₂HPO₄100g/l，pH8.5，25℃，0.5mA/cm²，(4)RuCl₃5g/l，NH₂SO₃H25g/l，50℃，1.6mA/cm²，(5)RuCl₃5g/l，H₂SO₄40g/l，70℃，80mA/cm²，(二)高温热分解3mg Ir+3mgZr或Ru+3mgZr在end cap THGA或HGA型WTaPGT中， 20g/l Ir或Ru溶液滴50μl于WTaPGT中，按200℃ 50s，450℃ 50s，1000℃ 35s 程序热解，20g/l              Zr                  5                  0 μl滴于WTaPGT中，按同样程序热解，再按先Ir或Ru，后Zr顺序重复两次，三次 一起用通氩气在2500℃ 7s 清除永久基体改进剂中杂质，低温元素用0.02mm厚镀层热解石墨层WTaPGT， 中温元素用0.05mm。