[发明专利]压电振子及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及压电振子及其制造方法。

背景技术

公知有将压电振动片固定在封装内并用盖进行密封的技术，且公知有使用设有窗部件的盖，以在密封后可以光学识别内部的技术(专利文献1)。在利用金属形成盖，利用玻璃形成窗部件的情况下，当盖变形时，容易使窗部件破损。窗部件的破损不仅在将盖接合在封装上时的工序中可能发生，在将盖接合在封装上之后也会发生。

专利文献1：日本特开2005-191314号公报

发明内容

本发明的目的在于防止设置在盖上的窗部件的破损。

(1)本发明的压电振子具有：压电振动片，其具有基部和从所述基部延伸的振动臂；封装，其包含固定有所述压电振动片的底部和包围所述底部的框壁部，且在所述底部的上方具有开口；以及盖，其堵住所述封装的所述开口，所述盖具有：形成有贯通孔的主体、包围所述主体的周围且形成为比所述主体薄的凸缘、和位于所述贯通孔中的光透射性部件，所述凸缘具有与所述框壁部的上端面接合的接合部，所述主体在厚度方向上从所述凸缘向所述底部的方向突出，所述盖还具有：所述凸缘的朝向所述封装的凸缘面、所述主体的朝向所述封装的主体面、和连接所述凸缘面和所述主体面的连接面，所述贯通孔位于从所述主体的中心向接近该主体的第1端部的第1方向偏移的位置，所述凸缘被接合在所述框壁部上，以使所述第1端部和最接近所述第1端部的所述凸缘的所述接合部之间的间隔，比所述主体的与所述第1方向相反的第2方向的 第2端部和最接近所述第2端部的所述凸缘的所述接合部之间的间隔大。根据本发明，盖的主体的接近光透射性部件的端部离开凸缘接合在框壁部上的部分，所以能够利用该部分吸收应力，抑制光透射性部件的破损。

(2)在该压电振子中，可以是，所述凸缘的所述第1方向的宽度比所述第2方向的宽度大。

(3)在该压电振子中，可以是，所述连接面包含凹曲面。

(4)在该压电振子中，可以是，所述连接面包含：与所述主体面的周缘连接的第1连接部分、与所述凸缘面连接的第2连接部分、以及所述第1连接部分和第2连接部分之间的中间部分，且至少所述中间部分是所述凹曲面，所述连接面的至少一部分与所述框壁部接触。

(5)在该压电振子中，可以是，所述第1连接部分与所述主体面垂直连接。

(6)在该压电振子中，可以是，所述中间部分与所述框壁部接触。

(7)在该压电振子中，可以是，所述中间部分从所述主体面的周缘开始变细，所述第1连接部分与所述框壁部接触，在所述中间部分和所述框壁部之间存在空间。

(8)本发明的压电振子的制造方法包含以下工序：准备封装的工序，所述封装包含底部和包围所述底部的框壁部，且在所述底部的上方具有开口；将压电振动片固定在所述底部上的工序，所述压电振动片具有基部和从所述基部延伸的振动臂；准备盖的工序，所述盖具有：形成有贯通孔的主体、位于所述贯通孔中的光透射性部件、和包围所述主体的周围且形成为比所述主体薄的凸缘，所述主体从所述凸缘向厚度方向突出，所述盖还具有：所述凸缘的朝向所述封装的凸缘面、所述主体的朝向所述封装的主体面、和连接所述凸缘面和所述主体面的连接面；将所述主体的从所述凸缘突出的部分配置在所述框壁部的内侧并与所述框壁部隔开间隔，使所述凸缘与所述框壁部重叠，来配置所述盖以堵住所述封装的所述开口的工序；以及通过局部加热将所述凸缘接合在所述框壁部的上端面上的工序，所述贯通孔位于从所述主体的中心向接近该主体的第1端部的第1方向偏移的位置，在配置所述盖的工序中，配置所述盖，以 使所述第1端部和所述凸缘与最接近所述第1端部的所述框壁部的重叠部分之间的间隔，比所述主体的与所述第1方向相反的第2方向的第2端部和重叠部分之间的间隔大，该重叠部分指所述凸缘与最接近所述第2端部的所述框壁部的重叠部分。根据本发明，盖的主体的接近光透射性部件的端部离开凸缘接合在框壁部上的部分，所以能够利用该部分吸收应力，抑制光透射性部件的破损。

(9)在该压电振子的制造方法中，可以是，在配置所述盖的工序中，使所述连接面的至少一部分与所述框壁部接触。

(10)在该压电振子的制造方法中，可以是，所述连接面包含：与所述主体面的周缘连接的第1连接部分、与所述凸缘面连接的第2连接部分、和所述第1连接部分和第2连接部分之间的中间部分，所述中间部分从所述主体面的所述周缘开始变细，在配置所述盖的工序中，使所述第1连接部分与所述框壁部接触，在所述中间部分和所述框壁部之间形成空间。