[发明专利]基板处理装置以及基板搬送装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，包括：

对基板载置台上的基板实施规定处理的处理腔室；

向所述基板载置台搬送基板的基板搬送装置；和

收容所述基板搬送装置，并且与所述处理腔室连接的搬送室，

所述基板处理装置的特征在于：

所述基板搬送装置包括：

在支撑有基板的状态下进入到所述处理腔室内向所述基板载置台 搬送基板的拾取器；和驱动拾取器的主驱动机构，

所述拾取器包括：

基部；从所述基部呈分叉状延伸的、用于支撑基板的多个支撑部 件；和使这些支撑部件伸缩动作的副驱动机构，在所述支撑部件伸出 的状态下搬送基板。

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于：

所述支撑部件包括：与所述基部连接的第一部件；和相对于所述 第一部件能够进出退避地设置的第二部件，

所述副驱动机构驱动所述第二部件。

3.如权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于：

所述副驱动机构与利用所述主驱动机构进行的所述拾取器的滑动 移动相连动，进出驱动所述第二部件。

4.如权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于：

所述基板搬送装置还具有所述拾取器能够滑动的基体，所述拾取 器在所述基体上滑动，能够从所述搬送室进入到所述处理腔室内。

5.如权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于：

所述第二部件为多个，

所述拾取器具有连接多个所述第二部件的连接部，

所述副驱动机构包括：

第一滑轮，其从所述基部或者所述第一部件向着所述基体被悬挂， 随着所述拾取器的滑动移动而旋转；

第二滑轮，其被配置在所述基部或者第一部件上，随着所述第一 滑轮的旋转而旋转；

第三滑轮，其被配置在所述基部或者第一部件上，随着所述第二 滑轮的旋转而通过带来进行旋转；和

夹具部件，其被设置在所述带上，与所述第二部件机械连接，随 着所述带的移动而移动，从而使多个所述第二部件一起移动。

6.如权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于：

在所述第一滑轮和所述第二滑轮之间插入安装有减速机。

7.如权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于：

所述副驱动机构独立于所述拾取器的移动来进退驱动所述第二部 件。

8.如权利要求7所述的基板处理装置，其特征在于：

所述副驱动机构包括：

配置在所述基部或者所述第一部件上，具有伸缩杆的伸缩用缸体；

配置在所述基部或者所述第一部件上，随着所述伸缩杆的移动而 旋转的第四滑轮；

配置在所述基部或者所述第一部件上，随着所述第四滑轮的旋转 而通过带来进行旋转的第五滑轮；和

夹具部件，其被设置在所述带上，与所述第二部件机械连接，随 着所述带的移动而移动，从而使所述第二部件移动。

9.如权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于：

所述第四滑轮包括：

随着所述伸缩杆的移动而旋转的小滑轮；和

与所述小滑轮一起旋转，并且搭挂有所述带的大滑轮。

10.如权利要求7所述的基板处理装置，其特征在于：

所述副驱动机构具有伸缩用缸体，该伸缩用缸体被配置在所述基 部或者所述第一部件上，并且具有伸缩杆，该伸缩杆使所述第二部件 移动，使得所述第二部件从所述第一部件进出，并返回到所述第一部 件上。

11.如权利要求7所述的基板处理装置，其特征在于：

所述副驱动机构包括：

波纹管，通过导入加压的气体，从所述第一部件突出，并伴随着 其使所述第二部件从所述第一部件上进出；和

弹簧，当所述波纹管的内部被减压时，弹性地进行施力，使得所 述第二部件返回到所述第一部件上。