[发明专利]掩膜板清洁系统及清洁方法

权利要求书

1.一种掩膜板清洁系统，用于在掩膜板进行曝光之前，对掩膜板进行清 洁，其特征在于包括：

清洁室，其两侧具有掩膜板出入的开口；

开关装置，用于检测所述掩膜板的经过，产生控制信号；

清洁装置，位于所述清洁室内，与所述开关装置电连接，根据所述控制 信号开启或关闭，用于对经过所述清洁室的掩膜板进行清洁；

其中，所述开关装置包括：

第一红外线传感机构，用于在检测到掩膜板经过时，输出电平信号；

第一驱动机构，与所述第一红外线传感机构电连接，用于根据接收到的 所述电平信号，产生控制所述清洁装置的开合的控制信号；

第二红外线传感机构，用于在检测到掩膜板经过时，输出电平信号；

第三红外线传感机构，用于在检测到掩膜板经过时，输出电平信号；

第二驱动机构，与所述第一驱动机构电连接，且与所述第二红外线传感 机构和所述第三红外线传感机构分别电连接，用于在所述掩膜板行进在第一 方向时根据第二红外线传感机构输出的电平信号启动第一驱动机构，并根据 第三红外线传感机构输出的电平信号关闭第一驱动机构，还用于在所述掩膜 板行进在与所述第一方向相反的第二方向时控制所述第一驱动机构处于非工 作状态；

其中，所述第一方向为从掩膜板库到掩膜板平台的传递方向。

2.根据权利要求1所述的掩膜板清洁系统，其特征在于所述的清洁室两 侧开口处分别设有第一门体及第二门体。

3.根据权利要求2所述的掩膜板清洁系统，其特征在于还包括门禁机构， 该门禁机构包括：

第四红外线传感机构，设于清洁室外，用于在检测到掩膜板经过时，输 出电平信号；

第五红外线传感机构，设于清洁室内，用于在检测到掩膜板经过时，输 出电平信号；

第三驱动机构，与所述第四红外线传感机构及所述第五红外线传感机构 电连接，根据第四红外线传感机构或第五红外线传感机构输出的电平信号， 控制所述第一门体的开合；

第六红外线传感机构，设于清洁室内，用于在检测到掩膜板经过时，输 出电平信号；

第七红外线传感机构，设于清洁室外，用于在检测到掩膜板经过时，输 出电平信号；

第四驱动机构，与所述第六红外线传感机构及所述第七红外线传感机构 电连接，根据第六红外线传感机构或第七红外线传感机构输出的电平信号， 控制所述第二门体的开合。

4.根据权利要求1所述的掩膜板清洁系统，其特征在于所述的清洁装置 包括：第一气枪和/或第二气枪。

5.根据权利要求1所述的掩膜板清洁系统，其特征在于所述的开口处设 有一个风淋机构。

6.根据权利要求1所述的掩膜板清洁系统，其特征在于所述的清洁室的 内壁上设有用于除尘和防静电的离子发生器。

7.一种掩膜板清洁方法，其特征在于包括如下步骤：

步骤100、掩膜板经过第四红外线传感机构时，输出相应电平信号给第 三驱动机构，该第三驱动机构根据该电平信号开启第一门体；

步骤101、掩膜板经过第二红外线传感机构时，输出相应的电平信号给 第二驱动机构，所述第二驱动机构根据该电平信号，启动所述第一驱动机构；

步骤102、掩膜板从掩膜板库一侧的清洁室开口进入清洁室内；

步骤103、掩膜板经过第五红外线传感机构时，输出相应电平信号给第 三驱动机构，该第三驱动机构根据该电平信号闭合第一门体；

步骤104、掩膜板经过第一红外线传感机构时，该第一红外线传感机构 输出相应的电平信号给第一驱动机构，所述第一驱动机构收到所述电平信号 后，产生控制信号启动所述清洁部清洁装置；

步骤105、清洁装置根据所述控制信号，对经过所述清洁室的掩膜板进 行清洁；

步骤106、掩膜板经过第六红外线传感机构时，输出相应电平信号给第 四驱动机构，该第四驱动机构根据该电平信号开启第二门体；

步骤107、掩膜板从掩膜板平台一侧的开口出清洁室；

步骤108、掩膜板经过第三红外线传感机构时，输出相应的电平信号给 第二驱动机构，所述第二驱动机构根据该电平相应的信号关闭所述第一驱动 机构；

步骤109、掩膜板经过第七红外线传感机构时，输出相应电平信号给第 四驱动机构，该第四驱动机构根据该电平信号闭合第二门体；

步骤110、掩膜板曝光完毕，返回；

步骤111、掩膜板经过第三红外线传感机构时，所述第二驱动机构根据 该电平相应的信号不启动所述第一驱动机构；

步骤112、掩膜板经过第二红外线传感机构时，所述第二驱动机构根据 该电平相应的信号不启动所述第一驱动机构。