[发明专利]场效应晶体管、包括场效应晶体管的逻辑电路及制造方法有效

专利信息
申请号: 200810110124.X 申请日: 2008-06-10
公开(公告)号: CN101325218A 公开(公告)日: 2008-12-17
发明(设计)人: 郑现钟;郑兰珠;徐顺爱;金东彻;李章元 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L29/06;H01L29/423;H01L29/12;H01L27/092;H01L21/336;H01L21/8238
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 代理人: 郭鸿禧;罗延红
地址: 韩国京畿道水*** 国省代码: 韩国;KR
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 场效应 晶体管 包括 逻辑电路 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种场效应晶体管,包括:

双极性层,包括源区、漏区以及源区和漏区之间的沟道区,其中,源区、 漏区以及沟道区以单片结构形成;

栅电极,位于沟道区上;

绝缘层,隔离栅电极与双极性层,

其中,在与第一方向相交的第二方向上,源区和漏区的宽度大于沟道区 的宽度,源区和漏区在第一方向上彼此连接,

其中,第二方向与第一方向垂直相交,

其中,与靠近漏区相比,栅电极更靠近源区形成,使得所述场效应晶体 管为n型。

2.一种场效应晶体管,包括:

双极性层,包括源区、漏区以及源区和漏区之间的沟道区,其中,源区、 漏区以及沟道区以单片结构形成;

栅电极,位于沟道区上;

绝缘层,隔离栅电极与双极性层,

其中,在与第一方向相交的第二方向上,源区和漏区的宽度大于沟道区 的宽度,源区和漏区在第一方向上彼此连接,

其中,第二方向与第一方向垂直相交,

其中,与靠近源区相比,栅电极更靠近漏区形成,使得所述场效应晶体 管为p型。

3.如权利要求1或2所述的场效应晶体管,其中,沟道区具有5nm至 100nm的宽度。

4.如权利要求3所述的场效应晶体管,其中,双极性层为单层。

5.如权利要求3所述的场效应晶体管,其中,双极性层由从氮化硼、碲 化镉、硒化铌构成的组中选择的材料形成。

6.如权利要求3所述的场效应晶体管,其中,双极性层包括1至9个石 墨烯层。

7.如权利要求3所述的场效应晶体管,其中,栅电极包括在沟道区上分 别靠近源区和漏区形成的第一栅电极和第二栅电极,其中,当电压被选择性 地施加到第一栅电极或第二栅电极时,所述场效应晶体管为n型或p型。

8.如权利要求3所述的场效应晶体管,还包括:

基底,其中,绝缘层形成在基底上,并且双极性层形成在绝缘层上。

9.如权利要求3所述的场效应晶体管,还包括:

基底,其中,栅电极形成在基底和绝缘层之间。

10.一种逻辑电路,包括至少一个p型晶体管和至少一个n型晶体管, 其中,所述至少一个p型晶体管和所述至少一个n型晶体管中的每个是如权 利要求3所述的场效应晶体管。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电子株式会社,未经三星电子株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200810110124.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top