[发明专利]场效应晶体管、包括场效应晶体管的逻辑电路及制造方法有效
| 申请号: | 200810110124.X | 申请日: | 2008-06-10 |
| 公开(公告)号: | CN101325218A | 公开(公告)日: | 2008-12-17 |
| 发明(设计)人: | 郑现钟;郑兰珠;徐顺爱;金东彻;李章元 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
| 主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/06;H01L29/423;H01L29/12;H01L27/092;H01L21/336;H01L21/8238 |
| 代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郭鸿禧;罗延红 |
| 地址: | 韩国京畿道水*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 场效应 晶体管 包括 逻辑电路 制造 方法 | ||
1.一种场效应晶体管,包括:
双极性层,包括源区、漏区以及源区和漏区之间的沟道区,其中,源区、 漏区以及沟道区以单片结构形成;
栅电极,位于沟道区上;
绝缘层,隔离栅电极与双极性层,
其中,在与第一方向相交的第二方向上,源区和漏区的宽度大于沟道区 的宽度,源区和漏区在第一方向上彼此连接,
其中,第二方向与第一方向垂直相交,
其中,与靠近漏区相比,栅电极更靠近源区形成,使得所述场效应晶体 管为n型。
2.一种场效应晶体管,包括:
双极性层,包括源区、漏区以及源区和漏区之间的沟道区,其中,源区、 漏区以及沟道区以单片结构形成;
栅电极,位于沟道区上;
绝缘层,隔离栅电极与双极性层,
其中,在与第一方向相交的第二方向上,源区和漏区的宽度大于沟道区 的宽度,源区和漏区在第一方向上彼此连接,
其中,第二方向与第一方向垂直相交,
其中,与靠近源区相比,栅电极更靠近漏区形成,使得所述场效应晶体 管为p型。
3.如权利要求1或2所述的场效应晶体管,其中,沟道区具有5nm至 100nm的宽度。
4.如权利要求3所述的场效应晶体管,其中,双极性层为单层。
5.如权利要求3所述的场效应晶体管,其中,双极性层由从氮化硼、碲 化镉、硒化铌构成的组中选择的材料形成。
6.如权利要求3所述的场效应晶体管,其中,双极性层包括1至9个石 墨烯层。
7.如权利要求3所述的场效应晶体管,其中,栅电极包括在沟道区上分 别靠近源区和漏区形成的第一栅电极和第二栅电极,其中,当电压被选择性 地施加到第一栅电极或第二栅电极时,所述场效应晶体管为n型或p型。
8.如权利要求3所述的场效应晶体管,还包括:
基底,其中,绝缘层形成在基底上,并且双极性层形成在绝缘层上。
9.如权利要求3所述的场效应晶体管,还包括:
基底,其中,栅电极形成在基底和绝缘层之间。
10.一种逻辑电路,包括至少一个p型晶体管和至少一个n型晶体管, 其中,所述至少一个p型晶体管和所述至少一个n型晶体管中的每个是如权 利要求3所述的场效应晶体管。
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