[发明专利]热敏头的制造方法、热敏头和打印装置无效
申请号: | 200810110108.0 | 申请日: | 2008-06-10 |
公开(公告)号: | CN101327690A | 公开(公告)日: | 2008-12-24 |
发明(设计)人: | 小林瑞纪;安藤杉 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | B41J2/335 | 分类号: | B41J2/335;B41J2/345 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 热敏 制造 方法 打印 装置 | ||
技术领域
本发明涉及热敏头(Thermal head)的制造方法、热敏头和打印装置,尤其涉及安装在办公用或者民用的各种打印机设备上的热敏头的制造方法、热敏头以及安装了该热敏头的打印装置。
背景技术
存在用于各种打印装置(复写打印机、卡打印机、视频打印机、条形码打印机、标签打印机、传真机、售票机等)的热敏记录的热敏头。在这种热敏头中,通过加热到规定温度,来对介质进行打印或者消去已打印的信息。更具体地讲,热敏头根据热能向反应介质打印文字或图、或者消去已经打印的文字或图,其中,热能是通过对以直线方式设置的单个或多个发热电阻选择性地施加电位从而使其发热所获得的。
这样的热敏头的制造方法,例如公开于专利文献1中。图10示出了现有的热敏头的制造方法的工序图。热敏头的制造方法包括以下工序:釉(glaze)基板的制造工序(步骤S101)、在釉基板上形成发热电阻层的膜的发热电阻层成膜工序(步骤S102)、热处理工序(步骤S103)、光刻/蚀刻工序(步骤S104)、电极层成膜工序(步骤S105)、光刻/蚀刻工序(步骤S106)、保护膜形成工序(步骤S107)、和检查工序(步骤S108)。
在步骤S101的釉基板制造工序中,在基板主体上形成釉来制造釉基板。
在步骤S102的发热电阻层成膜工序中,利用溅射法等,在釉上形成发热电阻的膜。这时,将发热电阻的成膜压力设为0.4Pa~1.5Pa,并且将发热电阻的成膜功率设为500W~2000W。而且,将基板温度设为180℃~250℃。
在步骤S103的热处理工序中,在真空中以550℃~650℃的温度进行发热电阻的热处理。这时,热处理时间取决于热处理温度。例如,如果热处理温度为550℃,则热处理时间为2小时左右;如果热处理温度为650℃,则热处理时间为1小时左右。该热处理工序的目的,例如公开于专利文献2中。即,例如尤其在将多晶硅用于发热电阻的情况下,通过该工序提高其结晶性。
接着,进行步骤S104的光刻/蚀刻工序。
在步骤S105的电极层成膜工序中,通过溅射或蒸镀来在发热电阻上形成一对电极的膜。
接着,进行步骤S106的光刻/蚀刻工序。
在步骤S107的保护膜形成工序中,形成保护膜以覆盖发热电阻和电极。
在步骤S108的检查工序中,对制造出的热敏头进行检查,结束热敏头的制造工序。
利用上述的制造方法,能够制造特性良好的热敏头,被制造出来的热敏头用于标签用打印机。
近年来,热敏头的作为图像用打印机的用途正在不断增加。在图像用打印机中,需要具有比标签用打印机更高的打印质量。然而,已知的是,在现有的进行发热电阻成膜、热处理的制造方法中,作为图像用热敏头,点之间的电阻值的偏差过大。由此导致打印的不均匀。
图11是以现有的制造方法所制造出的热敏头的电阻值的分布图。在图11中,横轴表示在热敏头的主扫描方向上的发热电阻的各点的位置,纵轴表示发热电阻的电阻值。曲线C100表示电阻值的分布。如看到曲线C100的电阻值分布所理解的那样,各发热电阻的电阻值的偏差很大,其偏差程度是3.10%。因此,考虑进行调整(trimming)。
【专利文献1】日本特开2006-192796号公报
【专利文献2】日本特开2005-254773号公报
由于在以现有的制造方法所制造出的热敏头中,作为图像用热敏头,点之间的电阻值偏差过大,因此考虑到了通过调整来抑制各点的电阻值的偏差的方法。所以,实际上,已经尝试了针对以现有的制造方法所制造出的热敏头的调整。如下这样地进行调整:通过对构成各点的发热电阻进行多次脉冲通电,来改变构成各点的发热电阻的电阻值,反复对各点的发热电阻进行脉冲通电直到使各点处的发热电阻的电阻值相等为止。图12是为了尝试对以现有的制造方法所制造出的热敏头进行调整从而对构成各点的发热电阻进行多次脉冲通电后的电阻值的分布图。在图12中,横轴表示在热敏头的主扫描方向上的发热电阻的各点的位置,纵轴表示发热电阻的电阻值。曲线C101表示电阻值的分布。如看到曲线C101的电阻值分布所理解的那样,虽然各发热电阻的电阻值的偏差比以图11所示的现有的制造方法所制造出的热敏头中的发热电阻的电阻值的偏差有一定改善,但是即使如此,偏差仍为1.72%,存在不能够抑制电阻值的偏差以达到能够应用于图像用热敏头的程度的问题。
发明内容
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