[发明专利]音叉型振动片以及音叉型振子

说明书

技术领域

本发明所涉及使用压电材料的音叉型振动片以及音叉型振子。 

背景技术

利用光蚀刻技术将压电基板制成为音叉型形状，且在其表面形成电极，由此制成音叉型振动片。尤其近些年来，以提高薄型、小型化的音叉型振动片的性能和生产效率为目的，正在研究电极的形成方法、音叉型振动片的支撑方法等。 

在专利文献1中记载有：为了提高对音叉的叉部的曝光精度，使掩模与形成在音叉型振动片的电极形成面上的保护膜接触，以向形成于振动臂之间的叉部的倾斜面照射的照射光接近垂直照射方向的方式，使光源倾斜规定的角度来进行曝光。专利文献1还公开了将支撑臂接合支撑在基座上的安装结构。 

专利文献2中公开了：在压电元件片的各侧端面上，倾斜面形成为从上表面和下表面起在厚度方向的中央部彼此交叉地向外侧突出，该倾斜面相对于与上表面或者下表面垂直的方向具有5～20度的倾斜度。另外公开了，由此，当形成用于形成电极的保护膜时，通过从正上方或者倾斜0～30度的角度照射紫外光，可以使侧端面的保护膜也能可靠地感光。还公开了，因此，可以在侧端面尤其在叉部也能正确形成电极，不会产生电极间的短路，不会变成不合格品。另外，专利文献2还公开了：通过从喷嘴的喷射口喷射固气两层喷射流，从而控制石英的研磨量，使压电元件片的各侧端面成为倾斜面。 

在专利文献3中记载有：音叉叉部上的蚀刻残留物的大小与振动臂的间隔和厚度有关。 

专利文献4公开了如下：两个支撑臂分别使用导电性粘结剂接合在 基板的电极部的两处。 

专利文献1：日本特开2006-339729号公报 

专利文献2：日本特开2001-156584号公报 

专利文献3：日本特开昭54-151391号公报 

专利文献4：日本特开2006-311088号公报 

在专利文献1中，如图9所示，在音叉型振动片上夹着两个振动臂11的位置上设置两个支撑臂91，各支撑臂91形成为通过导电性粘结剂92安装在基座上的结构。在这种结构中，易成为电极间的泄漏通道的部位是振动臂的叉部。因此，如专利文献3所示，通过根据振动臂的间隔和厚度来形成振动臂的叉部的蚀刻残留物，从而即使对基板垂直曝光，也能使叉部的保护膜感光，防止电极间短路。或者，通过根据蚀刻液浓度和蚀刻时间等条件，形成振动臂的叉部的蚀刻残留物，从而也能防止叉部的电极间短路。 

但是，如图10的侧视图所示，在专利文献1的结构之中，如果被施加了来自外部的冲击，则安装部成为支点，振动臂11的前端或基部前端上下位移大。因此，需要将振动片与封装之间的间隙、振动片与盖之间的间隙取得较大。另外，如专利文献4所示，即使构成为在各支撑臂各自的两个部位使用导电性粘结剂来固定振动片，但为了确保振动片与封装之间的间隙、振动片与盖之间的间隙，则难以提供一种厚度要求在0.4mm以下的卡用音叉振子。 

另外，如果使用专利文献1中公开的倾斜曝光、专利文献2中公开的喷射固气两层喷射流的方法，则生产能力会变差，生产效率和制造成本会上升。 

发明内容

本发明是为了解决上述问题中的至少一部分而完成的，其能以如下方式或者应用例来实现。 

[应用例1]本应用例所涉及的音叉型振动片具有：基部；从上述基部起在Y轴方向上延伸的第1和第2振动臂；以及夹着上述第1和第2振 动臂、且与上述基部连接的支撑框，该音叉型振动片的特征在于，在靠近上述支撑框与上述基部之间的连接部的区域上，形成有第1激励电极，该第1激励电极通过导电性粘结剂连接到安装电极上，在上述支撑框的夹着上述第1和第2振动臂的区域以及比上述第1和第2振动臂更靠近上述Y轴方向的区域之中的至少一个区域上，形成有第2激励电极，该第2激励电极通过上述导电性粘结剂连接到安装在上述支撑框的基座上的安装电极上，在上述支撑框的外侧形成有支撑框的切口部。 

根据这种结构，通过基部的切口部，残留在支撑框和基部侧面上的电极膜可以防止第1激励电极与第2激励电极发生短路。另外，由于可以在形成音叉型振动片的外形的工序中形成支撑框的切口部，所以可在不增加工序数量的情况下，由残留在支撑框和基部侧面上的电极膜来防止第1激励电极与第2激励电极的短路。 

[应用例2]在上述应用例所涉及的音叉型振动片之中，其特征在于，上述第1和第2激励电极分别具有：上述支撑框的表面和背面电极膜；以及连接上述表面和上述背面电极膜的上述支撑框的侧面电极膜，上述支撑框的上述侧面电极膜在上述支撑框的切口部被切断。