[发明专利]音叉型振动片以及音叉型振子

权利要求书

1.一种音叉型振动片，该音叉型振动片具有：基部；从上述基部起在Y轴方向上延伸的第1和第2振动臂；以及夹着上述第1和第2振动臂、且连接到上述基部上的支撑框，该音叉型振动片的特征在于，

在靠近上述支撑框与上述基部之间的连接部的区域上，形成有第1激励电极，该第1激励电极通过导电性粘结剂连接到安装在上述支撑框的基座上的安装电极上，

在上述支撑框的夹着上述第1和第2振动臂的区域以及比上述第1和第2振动臂更靠近上述Y轴方向的区域之中的至少一个区域上，形成有第2激励电极，该第2激励电极通过上述导电性粘结剂连接到安装电极上，

在上述支撑框的外侧形成有支撑框的切口部。

2.根据权利要求1所述的音叉型振动片，其特征在于，上述第1和第2激励电极分别具有：上述支撑框的表面和背面电极膜；以及连接上述表面和上述背面电极膜的上述支撑框的侧面电极膜，

上述支撑框的上述侧面电极膜在上述支撑框的切口部被切断。

3.根据权利要求1所述的音叉型振动片，其特征在于，在上述基部的宽度方向上的两侧形成有基部的切口部，

上述第1和第2激励电极分别通过上述基部的表面和背面电极膜延长到上述振动臂，

上述基部的上述表面与上述背面电极膜通过上述基部的侧面电极膜而连接，上述基部的上述侧面电极膜在上述基部的切口部被切断。

4.根据权利要求3所述的音叉型振动片，其特征在于，上述基部的切口部通过各向异性蚀刻而形成有飞边。

5.根据权利要求4所述的音叉型振动片，其特征在于，该音叉型振动片的基板由石英形成，该石英具有X轴方向的晶轴、上述Y轴方向的晶轴以及Z轴方向的晶轴，

上述宽度方向是上述X轴方向，并且，+X轴侧的飞边比-X轴侧的上述飞边长。

6.根据权利要求1所述的音叉型振动片，其特征在于，上述第1和第2振动臂之间的间隔比上述基部的切口部的宽度长。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的音叉型振动片，其特征在于，在上述第1和第2振动臂上分别形成有：槽；形成在该槽中的槽电极；以及侧面电极，

上述各槽分别形成有连接杆。

8.一种音叉型振子，其特征在于，该音叉型振子具有：

音叉型振动片，其具有：基部；从上述基部起在Y轴方向上延伸的第1和第2振动臂；以及夹着上述第1和第2振动臂、且连接到上述基部上的支撑框，其中，在靠近上述支撑框与上述基部之间的连接部的区域上，形成有第1激励电极，该第1激励电极通过导电性粘结剂连接到安装电极上，在上述支撑框的夹着上述第1和第2振动臂的区域以及比上述第1和第2振动臂更靠近上述Y轴方向的区域之中的至少一个区域上，形成有第2激励电极，该第2激励电极通过上述导电性粘结剂连接到安装在上述支撑框的基座上的安装电极上，在上述支撑框的外侧形成有支撑框的切口部；

基座，其形成有上述安装电极，并且该基座具有密封孔；

封装架，其封闭上述密封孔的一部分，该封装架层叠于上述基座上；

密封上述密封孔的密封材料；以及

密封上述封装架的盖体。

9.根据权利要求8所述的音叉型振子，其特征在于，上述第1和第2激励电极分别具有：上述支撑框的表面和背面电极膜；以及连接上述表面和上述背面电极膜的上述支撑框的侧面电极膜，

上述支撑框的上述侧面电极膜在上述支撑框的切口部被切断。

10.根据权利要求8所述的音叉型振子，其特征在于，在上述基部的宽度方向上的两侧形成有基部的切口部，

上述第1和第2激励电极分别通过上述基部的表面和背面电极膜延长到上述振动臂，

上述基部的上述表面与上述背面电极膜通过上述基部的侧面电极膜而连接，上述基部的上述侧面电极膜在上述基部的切口部被切断。

11.根据权利要求10所述的音叉型振子，其特征在于，上述基部的切口部通过各向异性蚀刻而形成有飞边。

12.根据权利要求11所述的音叉型振子，其特征在于，该音叉型振动片的基板由石英形成，该石英具有X轴方向的晶轴、上述Y轴方向的晶轴以及Z轴方向的晶轴，

上述宽度方向是上述X轴方向，并且，+X轴侧的飞边比-X轴侧的上述飞边长。