[发明专利]一种绝缘体上硅电路ESD全局保护结构有效

专利信息
申请号: 200810104230.7 申请日: 2008-04-16
公开(公告)号: CN101562187A 公开(公告)日: 2009-10-21
发明(设计)人: 曾传滨;海潮和;李晶;李多力;韩郑生 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L23/60;H02H9/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 周国城
地址: 100029*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 绝缘体 电路 esd 全局 保护 结构
【权利要求书】:

1.一种绝缘体上硅SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,该结构包括:

两个位于输入端的初级ESD保护结构(102/102′);

两个位于输入端的次级ESD保护结构(104/104′);

一个位于输入端初级ESD保护结构(102/102′)与次级ESD保护结构(104/104′)之间的电阻保护结构(103);

两个位于输出端或双向端的输出ESD保护结构(107/107′);

一个位于输出端或双向端输出金属氧化物半导体MOS管(203/203′)的漏电极与输出ESD保护结构(107/107′)之间的智能电阻保护结构(106);

两个位于输出端或双向端输出MOS管(203/203′)的漏电极与智能电阻保护结构(106)之间的RC结构控制的输出泻流管结构(105/105′);

一个或多个位于电源环线VDD与地线环线GND之间的二极管保护结构(109);

多个位于电源环线VDD与地线环线GND之间的环线泻流管保护结构(111);以及

在电源环线VDD与环线泻流管保护结构(111)之间的智能电阻结构(110)。

2.根据权利要求1所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,所述初级ESD保护结构(102/102′)是两个二极管结构,其中,第一二极管(102)的N极与电源环线VDD相连接,P极与输入端(101)相连接;第二二极管(102′)的N极与输入端(101)相连接,P极与地线环线GND相连接。

3.根据权利要求2所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,所述二极管包括栅控二极管。

4.根据权利要求1所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,所述次级ESD保护结构是两个栅极接死的MOS管结构,包括一个第一P型金属氧化物半导体管PMOS(104)和一个第一N型金属氧化物半导体管NMOS(104′)。

5.根据权利要求4所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,

所述第一PMOS管(104)的源、栅、体三个电极与电源环线VDD相连接,漏电极与由第二PMOS管(201)和第二NMOS管(201′)组成的输入CMOS管的栅极相连接;

所述第一NMOS管(104′)源、栅、体三个电极与地线环线GND相连接,漏电极与由第二PMOS管(201)和第二NMOS管(201′)组成的输入CMOS管的栅极相连接;

所述第一PMOS管(104)和第一NMOS管(104′)栅宽的比值在1∶3与3∶1之间。

6.根据权利要求1所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,所述输入端电阻保护结构(103)是一种部分或全部硅化物处理的多晶硅电阻,位于初级ESD保护结构(102/102′)与输入端(101)的共同连接点和次级ESD保护结构(104/104′)的漏电极连接点之间,该多晶硅电阻的阻值为5至500欧姆。

7.根据权利要求1所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,所述输出ESD保护结构(107/107′)是两个二极管结构,其中,第三二极管(107)的N极与电源环线VDD相连接,P极与输出端或双向端(108)相连接;第四二极管(107′)的N极与输出端或双向端(108)相连接,P极与地线环线GND相连接。

8.根据权利要求7所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,所述二极管包括栅控二极管。

9.根据权利要求1所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,所述输出端或双向端使用的RC控制输出泻流管结构是两个RC电路控制的MOS管结构(105/105′),控制第一PMOS管结构(105)的RC电路由第一电阻(301)和第一电容(302)构成,控制第一NMOS管结构(105′)的RC电路由第二电阻(301′)和第二电容(302′)构成。

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