[发明专利]一种绝缘体上硅电路ESD全局保护结构有效
申请号: | 200810104230.7 | 申请日: | 2008-04-16 |
公开(公告)号: | CN101562187A | 公开(公告)日: | 2009-10-21 |
发明(设计)人: | 曾传滨;海潮和;李晶;李多力;韩郑生 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L23/60;H02H9/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100029*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 绝缘体 电路 esd 全局 保护 结构 | ||
1.一种绝缘体上硅SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,该结构包括:
两个位于输入端的初级ESD保护结构(102/102′);
两个位于输入端的次级ESD保护结构(104/104′);
一个位于输入端初级ESD保护结构(102/102′)与次级ESD保护结构(104/104′)之间的电阻保护结构(103);
两个位于输出端或双向端的输出ESD保护结构(107/107′);
一个位于输出端或双向端输出金属氧化物半导体MOS管(203/203′)的漏电极与输出ESD保护结构(107/107′)之间的智能电阻保护结构(106);
两个位于输出端或双向端输出MOS管(203/203′)的漏电极与智能电阻保护结构(106)之间的RC结构控制的输出泻流管结构(105/105′);
一个或多个位于电源环线VDD与地线环线GND之间的二极管保护结构(109);
多个位于电源环线VDD与地线环线GND之间的环线泻流管保护结构(111);以及
在电源环线VDD与环线泻流管保护结构(111)之间的智能电阻结构(110)。
2.根据权利要求1所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,所述初级ESD保护结构(102/102′)是两个二极管结构,其中,第一二极管(102)的N极与电源环线VDD相连接,P极与输入端(101)相连接;第二二极管(102′)的N极与输入端(101)相连接,P极与地线环线GND相连接。
3.根据权利要求2所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,所述二极管包括栅控二极管。
4.根据权利要求1所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,所述次级ESD保护结构是两个栅极接死的MOS管结构,包括一个第一P型金属氧化物半导体管PMOS(104)和一个第一N型金属氧化物半导体管NMOS(104′)。
5.根据权利要求4所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,
所述第一PMOS管(104)的源、栅、体三个电极与电源环线VDD相连接,漏电极与由第二PMOS管(201)和第二NMOS管(201′)组成的输入CMOS管的栅极相连接;
所述第一NMOS管(104′)源、栅、体三个电极与地线环线GND相连接,漏电极与由第二PMOS管(201)和第二NMOS管(201′)组成的输入CMOS管的栅极相连接;
所述第一PMOS管(104)和第一NMOS管(104′)栅宽的比值在1∶3与3∶1之间。
6.根据权利要求1所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,所述输入端电阻保护结构(103)是一种部分或全部硅化物处理的多晶硅电阻,位于初级ESD保护结构(102/102′)与输入端(101)的共同连接点和次级ESD保护结构(104/104′)的漏电极连接点之间,该多晶硅电阻的阻值为5至500欧姆。
7.根据权利要求1所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,所述输出ESD保护结构(107/107′)是两个二极管结构,其中,第三二极管(107)的N极与电源环线VDD相连接,P极与输出端或双向端(108)相连接;第四二极管(107′)的N极与输出端或双向端(108)相连接,P极与地线环线GND相连接。
8.根据权利要求7所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,所述二极管包括栅控二极管。
9.根据权利要求1所述的SOI电路ESD全局保护结构,其特征在于,所述输出端或双向端使用的RC控制输出泻流管结构是两个RC电路控制的MOS管结构(105/105′),控制第一PMOS管结构(105)的RC电路由第一电阻(301)和第一电容(302)构成,控制第一NMOS管结构(105′)的RC电路由第二电阻(301′)和第二电容(302′)构成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的