[发明专利]无负载的包含有四个NMOS晶体管的静态随机存储器无效

专利信息
申请号: 200810102307.7 申请日: 2008-03-20
公开(公告)号: CN101540195A 公开(公告)日: 2009-09-23
发明(设计)人: 张万成;吴南健 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: G11C11/412 分类号: G11C11/412;G11C11/419;H01L27/11
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 周国城
地址: 100083北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 负载 含有 四个 nmos 晶体管 静态 随机 存储器
【权利要求书】:

1.一种静态随机存储器单元,其特征在于,该静态随机存储器单 元包括:

第一位线端口和第二位线端口;

第一数据存储节点和第二数据存储节点;

一字线;

第一NMOS FinFET存取管,源连接于第一数据存储节点,漏连接 于第一位线端口,顶栅连接于所述字线,背栅连接于第一数据存储节 点;

第二NMOS FinFET存取管,源连接于第二数据存储节点,漏连接 于第二位线端口,顶栅连接于字线,背栅连接于第二数据存储节点;

第一NMOS FinFET下拉管,源连接于地端,漏连接于第一数据存 储节点,顶栅和背栅连接于第二数据存储节点;以及

第二NMOS FinFET下拉管,源连接于地端,漏连接于第二数据存 储节点,顶栅和背栅连接于第一数据存储节点;

其中,该静态随机存储器单元为无负载的4管静态随机存储器单 元,第一NMOS FinFET下拉管的沟道长度设置为大于第一NMOS  FinFET存取管的沟道长度,对第二NMOS FinFET下拉管和第二NMOS  FinFET存取管的背栅加以不同的反馈;

所述第一数据存储节点的电压反馈到所述第二NMOS FinFET下 拉管的背栅上,所述第二数据存储节点的电压反馈到所述第二NMOS  FinFET存取管的背栅上,使得在开启状态下,所述第二NMOS FinFET 下拉管相对于所述第二NMOS FinFET存取管有较大的沟道电流,在读 取状态下,所述第一数据存储节点保持其存储状态。

2.根据权利要求1所述的静态随机存储器单元,其特征在于,所 述第一NMOS FinFET存取管和第二NMOS FinFET存取管具有相同的 工艺参数,所述第一NMOS FinFET下拉管和第二NMOS FinFET下拉 管具有相同的工艺参数;所述第一NMOS FinFET存取管、第二NMOS  FinFET存取管、第一NMOS FinFET下拉管和第二NMOS FinFET下 拉管具有相同的阈值电压。

3.根据权利要求1所述的静态随机存储器单元,其特征在于,所 述第一NMOS FinFET存取管、第二NMOS FinFET存取管、第一NMOS  FinFET下拉管和第二NMOS FinFET下拉管具有相同的沟道宽度,该 宽度为制作工艺所定义的最小特征尺寸。

4.根据权利要求1所述的静态随机存储器单元,其特征在于:

所述第一NMOS FinFET存取管和第二NMOS FinFET存取管具有 相同的沟道长度,该长度为32nm至45nm;

所述第一NMOS FinFET下拉管和第二NMOS FinFET下拉管具有 的沟道长度,是所述第一NMOS FinFET存取管和第二NMOS FinFET 存取管沟道长度的两倍。

5.根据权利要求1所述的静态随机存储器单元,其特征在于,所 述第一数据存储节点的电压反馈到所述第一NMOS FinFET存取管的 背栅上,所述第二数据存储节点的电压反馈到所述第二NMOS FinFET 存取管的背栅上,使得存取管的背栅与源的电压差保持为0V,保证存 取管在静态随机存储器的保持状态下具有足够的漏电流。

6.根据权利要求1所述的静态随机存储器单元,其特征在于,所 述第一NMOS FinFET存取管、第二NMOS FinFET存取管、第一NMOS  FinFET下拉管和第二NMOS FinFET下拉管是在绝缘体上硅SOI衬底 上具有双栅结构的N沟道场效应晶体管NMOS FinFET。

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