[发明专利]软模及其制造方法

权利要求书

1.一种软模，包括：

一聚合物层，具有一图案于该聚合层的一第一表面上；

至少一空气通道，形成于该第一表面上；以及

一背板，贴附至该聚合层的一第二表面。

2.如权利要求1所述的软模，其中该聚合物层包括聚二甲基硅氧烷、聚氨酯、聚亚酰胺、聚酰胺、含氟聚合物、聚四氟乙烯、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、氮化硅、环氧树酯、酚醛环氧树酯、间甲酚酚醛环氧树酯或酚环氧树脂。

3.如权利要求1所述的软模，其中该空气通道为一沟槽。

4.如权利要求1所述的软模，其中该空气通道的深度大于约50nm。

5.一种软模的制造方法，包括：

提供一模件，其具有一预先形成的图案；

将该模件置于一空穴中，并校准该模件及该空穴的水平位置，其中该空穴被至少一坝状结构所围绕；

形成一聚合物层于该模件上；

贴附一背板至该聚合物层及该坝状结构的上表面；

分离该聚合物层与该模件，其中该分离的聚合物层具有一图案化表面；以及

切割至少一空气通道于该图案化表面上。

6.如权利要求5所述的软模的制造方法，其中该坝状结构的高度控制该软模的厚度。

7.如权利要求5所述的软模的制造方法，还包括在该背板贴附至该聚合物层后，施加一重力至该背板上，或将该聚合物层及该背板移置一真空环境中。

8.如权利要求5所述的软模的制造方法，其中该背板在该聚合物层固化前贴附至该聚合物层上。

9.如权利要求5所述的软模的制造方法，其中该空气通道为一沟槽。

10.一种软模的制造方法，包括：

提供一模件，其具有一预先形成的图案；

形成至少一栅状结构于该模件上；

将该模件置于一空穴中，并校准该模件及空穴的水平位置，其中该空穴被至少一坝状结构所围绕，且该栅状结构低于坝状结构的上表面；

形成一聚合物层于该模件上；

贴附一背板至该聚合物层及该坝状结构的一上表面；以及

分离该聚合物层与该模件。

11.如权利要求10所述的软模的制造方法，其中该栅状结构与该预先形成的图案为同时形成。

12.如权利要求10所述的软模的制造方法，其中该背板在该聚合物层固化前贴附至该聚合物层上。

13.如权利要求10所述的软模的制造方法，其中该栅状结构为一光致抗蚀剂层或一黏着剂。

14.如权利要求10所述的软模的制造方法，其中该坝状结构的高度控制该软模的厚度。

15.如权利要求10所述的软模的制造方法，还包括在该背板贴附至该聚合物层后，施加一重力至该背板上，或将该聚合物层及该背板移置一真空环境中。