[发明专利]磁头分离辅助装置及利用该装置制造磁头的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种制造信息记录磁盘驱动单元的方法及装置，具体地涉及一种信息记录磁盘驱动单元内磁头的制造方法及装置，更具体地涉及一种将磁头从治具(exposure jig)分离的辅助装置及利用该装置制造磁头方法。

背景技术

一种常见的信息存储设备是磁盘驱动系统，其使用磁性媒介来存储数据，并且使用可动地设置于该磁性媒介上方的具有读写传感元件的磁头来选择性地从磁性媒介上读取数据或将数据写在磁性媒介上。

上述磁头是通过对用于制造磁头的晶圆(wafer)进行一系列加工而形成的。首先对晶圆研磨、清洗、积淀及蚀刻加工后，再将加工后的晶圆借助适当工具，比如金刚石切割砂轮切割成由多个磁头阵列构成的长形条(row bar)，然后对长形条进行后续加工，如将长形条粘结到治具(exposure jig)上进行光照蚀刻等光学处理(photo process)及磁头阵列电气性能检测等，最后借助切割工具，比如上述切割砂轮将长形条切断从而形成单独的磁头。通过上述方法加工形成的磁头经过挑选作业而将合格磁头选出，然后将这些合格磁头清洗，之后将清洗后的合格磁头装配到磁盘驱动系统中。

在传统的磁头制造的过程中，通常需要进行两次粘结和两次脱胶。如图1a-1b所示，首先将长形条100粘结到治具110上进行一系列加工处理后进行第一次脱胶，即将长形条100从治具110上脱离，首先，将所述粘结有长形条100的治具110通过线120固定到长形条固定器130上，然后将治具110及固定器130放置于适当溶液140中进行脱胶。之后，再将长形条100切割成单独的磁头。为方便切割操作，长形条100通常借助粘结胶或粘结蜡而暂时性地固定在一个承载工具(transfer tool)上，即第二次粘结，然后才用切割工具将长形条切断形成单独磁头。由于切断后的磁头仍然通过粘结剂而固定在承载工具上，因此必须将粘结剂去掉，使磁头脱离承载工具，即第二次脱胶。分离后的磁头通常被依序放置到一个分离托架(debonding tray)内，以方便后续工序中对合格磁头的挑选作业。业界通过多种方法将磁头从承载工具上分离(debonding)并将磁头放置到分离托架内。下面分别介绍这些方法。

图1c-1g展示了传统的加热板分离法(hot plate debonding method)。如图1c-1d所示，一组磁头101通过粘结剂而固定在承载工具102的一个表面上。然后，如图1e示，所述承载工具102被安装在加热板(hot plate)103上。接着，所述加热板103被加热到一定温度，使得承载工具102受到高温烘烤。当温度达到粘结剂的熔点后，粘结剂受热熔化，使得磁头101脱离粘结剂的束缚。最后借助图1f所示的镊子104将磁头101逐一转移到图1g所示的分离托架105的磁头收容坑(pocket)106内。

上述方法虽然可以有效地将磁头从承载工具上分离并被放置到分离托架内，但是，由于磁头体积小、质量轻，并且相邻磁头之间的间距很小，微小振动或空气流动(例如风吹)均可导致磁头移动，因此利用镊子等工具将数量较多的磁头逐个从承载工具表面转移到分离托架内的过程中，磁头容易受到振动或碰撞(例如操作员操作时身体的抖动、镊子对磁头的碰撞等)而相互错位，从而导致这些磁头无法按照其在承载工具上的原始顺序被放置到分离托架的磁头收容坑内。这种磁头在分离托架内位置的混乱导致操作员无法直接根据磁头被切割之前所测定的电气性能及磁头之间原始相对位置对磁头进行挑选作业，相反地，若发生这种磁头位置错乱情况，则需要逐一读取设置在每个磁头层叠面上的磁头识别编号。所述磁头识别编号是在磁头层叠面上以单位文字5×10μm左右的大小书写的文字。但是，由于放置在磁头收容坑内的磁头层叠面与磁头收容坑侧壁平行，操作员无法直接借助显微镜观察磁头编号。因此必须借助镊子等工具将磁头逐一从磁头收容坑内取出，然后再用显微镜确认磁头识别编号，这样导致磁头在分离托架磁头收容坑内位置混乱并导致以后的磁头挑选作业变得困难；另外，这种磁头分离方法由于采用高温加热，操作员在操作过程中容易受到高温伤害，比如被高温的加热板烧伤；而且，这种手工操作工作效率很低。