[发明专利]激光修复系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种激光修复系统。

背景技术

用于在制造平面显示面板中可能产生的线缺陷和象素缺陷的修复过程通常是通过使用激光切割相应层或焊接上下层来执行的。

通常，激光修复系统使用狭缝来定义加工区域。为了微小处理，利用狭缝适当地部分阻挡激光振荡器产生的激光宽度以将激光调整至用于激光修复处理所期望的激光形状和尺寸。

在激光修复过程中，当使用具有大于阈值功率的激光时切割过程很少失败。

然而，在焊接过程中，即通过焊接电连接上下层的配线的过程中，如果激光功率太低就无法实施焊接。如果激光功率太高，金属配线被过渡熔化和气化，使得不可能在层间建立电短路路径。如果传导层和绝缘层(包括钝化层)在焊接过程中没有完全的分离，当产品在出货后被移至其它地方时包括传导金属的残余物可导致额外的缺陷，或导致当平板被加压时残余物电连接平面显示平板上电极的现象，结果在已修复的部分再次出现缺陷。

通常的焊接过程以合适功率的激光主要使用方形狭缝重复执行两遍或更多遍，由此使焊接过程的失误率达到最小化。

由于同一过程是重复执行的，处理时间增加。而且，由于随着低电阻电线，如纯铝(Al)的使用，金属线厚度和电迁移阻抗减小，对于近来的大尺寸高清晰度的平板来说，难于确保激光修复过程的余量。

发明内容

因此，本发明提供一种包括能够调节激光功率分布的狭缝单元的激光修复系统。

根据本发明一方面，提供一种激光修复系统，包括产生激光的激光振荡器，狭缝单元，激光照射到该狭缝单元上并且该狭缝单元包括激光阻挡部件，第一狭缝部件和第二狭缝部件，其中狭缝单元的激光阻挡部件不透射入射到其上的激光，并且通过第一狭缝部件的光通量大于通过第二狭缝部件的光通量。

第二狭缝部件在第一狭缝部件的周围形成。

激光阻挡部件可包括具有第一开口的第一激光阻挡部件和具有第二开口的第二激光阻挡部件。第一和第二激光阻挡部件可被设置为相互交叉，并且第一狭缝部件可包括第一和第二开口的重叠区域。

第一激光阻挡部件可包括第一平板和与第一平板间隔的第二平板，并且第二激光阻挡部件可包括第三平板和与第三平板间隔的第四平板。

狭缝单元还可包括用来改变第一和第二激光阻挡部件的位置的驱动部件。

驱动部件可包括与第一激光阻挡部件连接用来在第一方向移动第一和第二平板的第一驱动部件；以及与第二激光阻挡部件连接用来在第二方向移动第三和第四平板的第二驱动部件。

第二狭缝部件可包括形成在第一激光阻挡部件和第二激光阻挡部件之中至少一个上的一狭缝。

该狭缝可被形成为矩形孔。

该平板可被形成包括多个相互间隔矩形孔的狭缝。

这些矩形孔可具有不同的尺寸。

平板可被形成包括多个相互间隔孔的狭缝。

第二狭缝部件可包括形成在第一和第二激光阻挡部件中至少一端上的不平坦边缘。

该不平坦边缘可以是以多边形或圆形形状形成的。

第二狭缝部件可包括由能够部分传输入射到第二狭缝部件上的激光的半透射材料制成的半透射部分，并且该半透射部分可形成在第一和第二激光阻挡部件中至少一端中。

该半透射材料可包括半透射玻璃或半透射金属。

根据本发明另一方面，提供一激光修复系统，包括产生激光的激光振荡器，和狭缝单元，所述激光照射在该狭缝单元上。该狭缝单元包括激光阻挡部件和第一狭缝部件。该狭缝单元的激光阻挡部件不透射入射到其上的激光，并且第一狭缝部件透射入射到其上的激光且过滤该激光，使得透射的激光功率分布发生改变。

第一狭缝部件可以多边形的形状形成，使得其中一边的宽度不同于相对边的宽度。

激光阻挡部件可包括具有第一开口的第一激光阻挡部件和具有第二开口的第二激光阻挡部件。第一和第二激光阻挡部件可被设置为相互交叉。第一狭缝部件可包括第一和第二开口的交叠区域，并且第一和第二开口中至少一个具有逐渐减小的宽度。

第一激光阻挡部件可包括第一平板和与第一平板间隔的第二平板，第二激光阻挡部件可包括第三平板和与第三平板间隔的第四平板。第一和第二平板可被设置为在同一平面中彼此相互倾斜。

第三和第四平板被设置为在同一平面中彼此相互倾斜。

狭缝单元还可包括第二狭缝部件。第二狭缝部件可以在激光阻挡部件中形成，并且从第二狭缝部件透射的光通量可小于从第一狭缝部件透过的光通量。

狭缝单元还可包括用于改变第一和第二激光阻挡部件的位置的驱动部件。