[发明专利]激光修复系统

权利要求书

1、一种激光修复系统，包括：

产生激光的激光振荡器；以及

狭缝单元，所述激光照射到所述狭缝单元上，该狭缝单元包括共同限定激光通过区域的第一激光阻挡部件和第二激光阻挡部件。

2、如权利要求1所述的系统，其中所述第一激光阻挡部件包括具有分别限定所述激光通过区域第一边和第二边的第一和第二边缘的第一和第二光阻挡元件，并且所述第二激光阻挡部件包括具有分别限定所述激光通过区域第三边和第四边的第三和第四边缘的第三和第四光阻挡元件。

3、如权利要求2所述的系统，其中所述光阻挡元件中的至少一个包括至少一个孔，该孔邻近限定所述光通过区域的一个边的所述光阻挡元件的所述边缘。

4、如权利要求2所述的系统，其中多个激光阻挡元件包括一个孔，该孔邻近限定所述第一激光通过区域的各边的各个边缘。

5、如权利要求2所述的系统，其中至少一个所述激光阻挡元件的所述边缘包括曲线图案。

6、如权利要求5所述的系统，其中所述曲线图案选自包括矩形、锯齿形和圆形的组中。

7、如权利要求3所述的系统，其中所述至少一个孔包括多个孔。

8、如权利要求7所述的系统，其中所述多个孔是矩形孔或圆孔。

9、如权利要求8所述的系统，其中所述矩形孔中的一个具有与另一个所述矩形孔不同的面积。

10、如权利要求2所述的系统，其中至少一个光阻挡元件的边缘包括半透射部分，所述半透射部分允许部分照射在所述半透射部分的激光通量部分通过。

11、如权利要求10所述的系统，其中所述半透射部分由半透射玻璃或具有足以提供半透射特性的厚度的金属组成。

12、如权利要求2所述的系统，其中所述狭缝单元还包括用于改变所述第一激光阻挡部件和第二激光阻挡部件位置的驱动部件。

13、如权利要求12所述的系统，其中所述驱动部件包括：

与所述第一激光阻挡部件相连接以沿第一方向移动所述第一和第二光阻挡元件的第一驱动部件；以及

与所述第二激光阻挡部件相连接以沿第二轴方向移动所述第三和第四光阻挡元件的第二驱动部件。

14、一种激光修复系统，包括：

产生激光的激光振荡器；以及

狭缝单元，所述激光照射到所述狭缝单元上，该狭缝单元包括激光阻挡部件和第一狭缝部件，

其中，所述狭缝单元的所述激光阻挡部件不透射入射到其上的激光，并且

所述第一狭缝部件透射并过滤入射到其上的激光，使得透射的激光功率具有预期的分布。

15、如权利要求14所述的系统，其中所述第一狭缝部件是以多边形形状形成的，使得一边的宽度不同于相对边的宽度。

16、如权利要求14所述的系统，其中所述激光阻挡部件包括：

限定第一开口的第一激光阻挡部件，和

限定第二开口的第二激光阻挡部件，以及

其中所述第一和第二激光阻挡部件设置得相互交叉，

所述第一狭缝部件包括所述第一和第二开口的交叠区域，并且

所述第一和第二开口中的至少一个具有变化的宽度。

17、如权利要求16所述的系统，其中所述第一激光阻挡部件包括第一平板和与所述第一平板相间隔的第二平板，

所述第二激光阻挡部件包括第三平板和与该第三平板相间隔的第四平板，并且

所述第一和第二平板被相互倾斜地设置在同一平面内。

18、如权利要求17所述的系统，其中所述第三和第四平板被相互倾斜地设置在同一平面内。

19、如权利要求17所述的系统，其中所述狭缝单元还包括第二狭缝部件，

该第二狭缝部件在所述激光阻挡部件中形成，并且

从所述第二狭缝部件透射的光的通量小于从所述第一狭缝部件透射的光的通量。

20、如权利要求18所述的系统，其中所述狭缝单元还包括用于改变所述第一激光阻挡部件和第二激光阻挡部件位置的驱动部件。