[发明专利]衬底支架、衬底处理装置和放置衬底的方法有效

专利信息
申请号: 200810095078.0 申请日: 2008-04-28
公开(公告)号: CN101299416A 公开(公告)日: 2008-11-05
发明(设计)人: 迪特尔·哈斯;托马斯·贝尔格;西蒙·劳 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/00;C23C14/50;H01J37/32
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 代理人: 赵飞
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 衬底 支架 处理 装置 放置 方法
【权利要求书】:

1.一种用于对衬底(14)进行处理的衬底处理装置,包括:

至少一个处理室;

布置在所述处理室中用于对所述衬底(14)进行处理的处理工具;

具有框架(2a、2b、2c、2d)的衬底支架(1),和

边缘排除件(20),其突出于衬底(14)的衬底表面的一部分上方以防止对所述衬底(14)的一部分进行处理,所述衬底被支撑在所述衬底支架(1)中并被容纳在所述处理室中,

其特征在于,

所述边缘排除件(20)在所述衬底(14)的边缘(14’)与所述衬底支架(1)的所述框架(2a、2b、2c、2d)之间提供迷宫式密封。

2.根据权利要求1所述的衬底处理装置,其特征在于,

用于支撑所述衬底(14)的所述衬底支架(1)包括:

固定安装到所述框架(2a、2b、2c、2d)的至少第一紧固装置(6、7),用于通过将所述衬底(14)安装到所述第一紧固装置(6、7)来将所述衬底(14)相对于所述框架(2a、2b、2c、2d)对准;和

以可移动方式安装到所述框架(2a、2b、2c、2d)的第二紧固装置(12、13),所述第二紧固装置(12、13)沿着至少朝向或远离安装到所述第一紧固装置(6、7)的所述衬底(14)的边缘(14’)的方向相对于安装到所述第一紧固装置(6、7)的所述衬底(14)可动或相对于所述框架(2a、2b、2c、2d)可动。

3.根据权利要求2所述的衬底处理装置,其特征在于,

所述第一紧固装置(6、7)至少包括第一保持器元件(6)和第二保持器元件(7)。

4.根据权利要求2所述的衬底处理装置,其特征在于,

所述第一紧固装置(6、7)布置在所述框架(2a、2b)上以限定参考角部(4),所述参考角部用于将所述衬底(14)相对于所述衬底支架(1)保持、对准或固定安装在参考位置。

5.根据权利要求2所述的衬底处理装置,其特征在于,

所述第二紧固装置(12、13)至少包括第三保持器元件(12)和第四保持器元件(13)。

6.根据权利要求2所述的衬底处理装置,其特征在于,

所述第二紧固装置(12、13)通过线性导向件(15、16)以可动方式安装到所述衬底支架(1),所述线性导向件用于在线性路径上将所述第二紧固装置(12、13)相对于所述框架(2a、2b、2c、2d)进行导向,或沿与所述衬底(14)的边缘(14’)大体垂直的方向相对于容纳在所述第一紧固装置(6、7)中的衬底(14)的边缘(14’)进行导向。

7.根据权利要求2所述的衬底处理装置,其特征在于,

所述第二紧固装置(12、13)包括沿朝向容纳在所述第一紧固装置(6、7)中的所述衬底(14)的边缘(14’)的方向施加力的装置。

8.根据权利要求1所述的衬底处理装置,其特征在于,

所述框架(2a、2b、2c、2d)布置成使得所述框架(2a、2b、2c、2d)与支撑于所述衬底支架(1)中的所述衬底(14)的边缘(14’)之间形成间隙(19)。

9.根据前述权利要求1所述的衬底处理装置,其特征在于,

所述边缘排除件(20)布置在所述处理室内。

10.根据权利要求9所述的衬底处理装置,其特征在于,

所述边缘排除件(20)与容纳在所述处理室中的所述衬底支架(1)布置成可彼此相对运动,使所述边缘排除件(20)的至少一部分移动到间隙(19)中以形成所述迷宫式密封,所述间隙(19)处于由所述衬底支架(1)支撑的衬底(14)的边缘(14’)与所述衬底支架(1)的所述框架(2a、2b、2c、2d)之间。

11.根据权利要求9所述的衬底处理装置,其特征在于,

所述边缘排除件(20)包括主体部分(20a),所述主体部分用于覆盖所述衬底(14)的所述边缘(14’)与所述衬底支架(1)的所述框架(2a、2b、2c、2d)之间的间隙(19)以防止颗粒进入所述间隙(19)。

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