[发明专利]光器件及曝光装置

说明书

技术领域

本发明涉及光器件及曝光装置，特别是涉及连接光纤、透明部件等光学部件而使激光等光传播的光器件及曝光装置。

背景技术

以前，作为连接光纤、透明部件等光学部件而使激光等光传播的光器件，国际公开2004/68230号小册子中披露了在光纤的输出端熔化连接无芯核光纤，按出射束在无芯核光纤端不被遮挡的方式设定光路长度的技术，特别是披露了把无芯核光纤长度设为1mm以下时，可减少遮挡的技术。

还有，特开平5-288967号公报中披露了在光纤的输入端面上把与光纤的芯核部相同折射率、外径与光纤的外径一致的导光棒通过加热熔化而形成一体的器件。

还有，特开2007-25431号公报中披露了猪尾线型的激光组件，它是暴露在空气中的光纤入射端面或出射端面上的光功率密度为15W/mm²以下或60～800W/mm²的激光组件。

还有，特开2006-286866号公报中披露了使透明部件与光纤入射端面接触，从透明部件侧使半导体激光器的光聚敛而将其引导到光纤中的插座型的激光组件，它是透明部件的入射侧的光密度为10W/mm²以下的激光组件。

但是，在把国际公开2004/68230号中记载的技术用于猪尾线型的激光组件的入射部的场合，若光输出高，则无芯核光纤端有时会被污染，寿命变短，这是存在的问题。另一方面，在用于插座型的激光组件的场合，可以考虑使光纤与短截线等透明部件抵接，从而对束传播方向上的光纤端进行定位的技术，但在光输出高的场合，在激光器工作过程中会在无芯核光纤和短截线之间产生熔化的现象。在该场合，熔化部分会由于振动等而简单地剥离，与光纤的结合损失会增大，这是存在的问题。

还有，在把特开平5-288967号公报中记载的技术，与国际公开2004/68230号的技术同样，用于插座型的激光组件中的场合，若光输出高，则会产生上述熔化的现象，与光纤的结合损失会增大，这是存在的问题。还有，在入射光的输出高的场合，在光纤端面会产生污染，这是存在的问题。

还有，在特开2007-25431号公报记载的技术中，在光纤入射端面或出射端面上，假如有超过15W/mm²的光密度，则不能防止污染，而光纤入射端的芯核直径是决定了的，所以光输出的上限由光纤直径决定了，光输出不能过高，这是存在的问题。

还有，在特开2006-286866号公报记载的技术中，与国际公开2004/68230号的技术同样，会产生上述熔化的现象，与光纤的结合损失会增大，这是存在的问题。

在使用例如波长为405nm等短波长的光源的场合，在光纤端会发生污染，导致光输出降低，成为品质上的问题，这是公知的。特别是，光输出密度变高的话，在玻璃等透明部件和空气相接的表面上，污染所造成的输出的降低会变得显著，这是公知的。

为了抑制该污染所造成的光输出降低，可以考虑降低光输出密度，不过，以前不知道在什么程度上降低光输出密度才能抑制污染所造成的光输出的降低。

还有，如上所述，在光纤端上连接透明部件的构成中使高输出的光入射的场合，在两者的端面上有可能出现玻璃彼此的熔化，而出现熔化的话，即使对光纤加上一点振动也有可能剥离，由于剥离表面的凹凸所造成的光散射等，透过损失会增大，会对可靠性带来影响，这是存在的问题。

发明内容

本发明是考虑到上述事实而提出的，提供一种能抑制光输出降低的光器件及曝光装置。

为了实现上述目的，技术方案1记载的发明是一种光器件，具备：输出给定波长的光的光源；使上述给定波长的光透过的第1光学部件；以及与上述第1光学部件抵接而使上述给定波长的光透过的第2光学部件，其中，上述给定波长是160～500[nm]，并且上述第1光学部件和上述第2光学部件的抵接面上的光密度是140[W/mm²]以下。

根据该发明，按使给定波长的光透过的第1光学部件和第2光学部件的抵接面上的光密度为140[W/mm²]以下的方式构成光器件，因而能防止抵接面上的熔化，抑制光输出的降低。

另外，按技术方案2记载的方式，其构成为，上述第1光学部件及上述第2光学部件中的上述光入射或出射的一侧的端面并且是暴露在空气中的一侧端面上的光密度是8[W/mm²]以下，从而能防止上述端面的污染，抑制光输出的降低。