[发明专利]光器件及曝光装置有效
| 申请号： | 200810094943.X | 申请日： | 2008-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101299088A | 公开（公告）日： | 2008-11-05 |
| 发明（设计）人： | 向井厚史;园田慎一郎 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42;H01S5/00;H01S3/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陆锦华;谢丽娜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 器件 曝光 装置 | ||
1.一种光器件，具备：
输出给定波长的光的光源；
使上述给定波长的光透过的第1光学部件；以及
与上述第1光学部件抵接而使上述给定波长的光透过的第2光学部件，
其中，上述给定波长是160～500nm，并且上述第1光学部件和上述第2光学部件的抵接面上的光密度是140W/mm2以下。
2.根据权利要求1所述的光器件，其中，上述第1光学部件及上述第2光学部件中的上述光入射或出射的一侧的端面并且是暴露在空气中的一侧端面上的光密度是8W/mm2以下。
3.根据权利要求1或2所述的光器件，其中，上述第2光学部件包含光纤和在该光纤和上述第1光学部件之间设置的第3光学部件，上述光纤和上述第3光学部件是熔化连接的。
4.根据权利要求1或2所述的光器件，其中，上述光的聚敛位置是上述抵接面以外的位置。
5.根据权利要求1或2所述的光器件，其中，上述第1光学部件及上述第2光学部件各自具有比所透过的上述光的束直径大的直径。
6.根据权利要求1或2所述的光器件，其中，上述第1光学部件及上述第2光学部件中的上述光入射的一侧的端面并且是暴露在空气中的一侧的端面相对于与上述光的主轴正交的方向是倾斜的。
7.根据权利要求1或2所述的光器件，其中，上述第1光学部件及上述第2光学部件中的至少一方是含有石英而形成的。
8.根据权利要求2所述的光器件，其中，上述第1光学部件及上述第2光学部件中的至少一方是光纤，上述光源的输出是上述光纤的芯核的断面积×8W/mm2以上。
9.根据权利要求2所述的光器件，其中，上述第1光学部件及上述第2光学部件中的至少一方是光纤，上述光源的输出是上述光纤的断面积×8W/mm2以上。
10.根据权利要求2所述的光器件，其中，上述第1光学部件及上述第2光学部件中的至少一方是光纤，上述光源的输出是保持上述光纤的套圈的断面积×8W/mm2以上。
11.根据权利要求1或2所述的光器件，其中，上述第1光学部件及上述第2光学部件中的至少一方是光纤，上述光源的输出是上述光纤的芯核的断面积×140W/mm2以上。
12.根据权利要求1或2所述的光器件，其中，上述第1光学部件及上述第2光学部件中的至少一方是光纤，上述光源的输出是上述光纤的断面积×140W/mm2以上。
13.根据权利要求1或2所述的光器件，其中，上述第1光学部件及上述第2光学部件中的至少一方是光纤，上述光源的输出是保持上述光纤的套圈的断面积×140W/mm2以上。
14.根据权利要求1或2所述的光器件，其中，上述给定波长是370～500nm。
15.一种曝光装置，具备光器件，
上述光器件具备：
输出给定波长的光的光源；
使上述给定波长的光透过的第1光学部件；以及
与上述第1光学部件抵接而使上述给定波长的光透过的第2光学部件，
其中，上述给定波长是160～500nm，并且上述第1光学部件和上述第2光学部件的抵接面上的光密度是140W/mm2以下。
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