[发明专利]安装光纤的波导元件及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及连接损失小且生产率高的安装光纤的波导元件及其制造方法。

背景技术

一直以来，在安装光纤的波导元件(以下，称为安装光纤的波导元件)上 设有光纤槽，以便将光纤向芯部的延长线上引导，并且容易稳定地固定光纤。

安装光纤的波导元件具有与光纤安装槽面对的包层及芯部的端面。即，在 包层上设置阶梯部并将该阶梯部的底部作为光纤槽的底面，使在该光纤槽上放 置并安装的光纤的端面与包层及芯部的端面接触。

专利文献1：日本特开2006-184754号公报。

专利文献2：日本特开2002-267860号公报。

如图4所示，现有的安装光纤的波导元件101的被包层103包围周围的芯 部104形成至包层103的端面，通过安装在光纤槽102上的光纤105的端面与 包层103的端面接触，光纤105中的芯部和安装光纤的波导元件101的芯部 104光结合。

但是，若将包层103的端面附件放大之后仔细观察，则如图5所示，芯部 104的前端104a呈圆形。这是因为，例如在安装光纤的波导元件101利用光 刻技术(直接曝光)制造的场合，为了在作为原料的波导基板上划分成所需形 状而形成芯部104和包层103，在放置光掩模进行曝光时，在光掩模的边缘产 生光的衍射等，在光掩模上成直角棱边的掩模图形变成圆形而被曝光。由于包 层103的端面位于光掩模的边缘，所以即使光掩模上的芯部图形变成直角棱 边，所形成的芯部104的前端104也呈圆形。尤其是，在芯部直径(粗细)小 的场合，芯部104的前端104a容易形成圆形。

另外，呈圆形的芯部104的前端104a与包层103的端面103a之间，用包 层103填埋。

如图5所示，若芯部104的前端104a呈圆形，则在芯部的前端104a的曲 面与光纤105之间进入包层103，芯部104与包层103的界面弯曲，所以光产 生折射而光路改变，从而光大量泄漏到邻接芯部等从而使光隔离恶化，而且连 接损失增大。

而且，若芯部的前端104a呈圆形并被包层103覆盖，则由于与光纤105 的相对位置(沿着端面的方向的位置)而光结合的良好程度发生较大变化，所 以因制造不均引起的芯部前端部与光纤的相对位置(沿着端面的方向)的变化 所产生的损失的不均匀变大，安装光纤的波导元件的生产率下降。

另外，在如专利文献2所示的光波导元件中，也存在如上所述的芯部端面 变成圆形，并且在与光纤连接时连接损失变大的问题。而且，如图6所示，由 于是通过将芯部61的光连接端面形成于包层62的凹部内之后，除去覆盖了光 连接端面的包层材料及基板，从而制作使芯部61从包层端面突出的光波导的 方法，因此在包层62的除去工序中存在芯部61被破坏的问题。

发明内容

于是，本发明的目的在于解决上述问题，提供一种连接损失小且生产率高 的安装光纤的波导元件及其制造方法。

为达到上述目的，本发明的安装光纤的波导元件在基板上形成内包层、芯 部和覆盖包层而构成，在上述安装光纤的波导元件上形成用于安装光纤的光纤 安装槽，该波导元件具有与上述光纤安装槽面对的覆盖包层的端面，在该光纤 安装槽一侧上述芯部和上述内包层比上述覆盖包层的端面还突出。

另外，本发明的安装光纤的波导元件在基板上形成内包层、芯部和覆盖包 层而构成，在上述安装光纤的波导元件上形成用于安装光纤的光纤安装槽，该 波导元件具有与上述光纤安装槽面对的覆盖包层的端面，在该光纤安装槽一侧 上述芯部比上述覆盖包层的端面还突出，而且以L字状形成至上述光纤安装 槽的底面。

具有多个上述芯部，这些芯部在比上述覆盖包层的端面靠外的位置彼此连 接也可以。

具有多个上述芯部，这些芯部在比上述覆盖包层的端面靠外的位置向邻接 的芯部的方向扩展也可以。

在上述光纤安装槽上安装光纤，该光纤的端面与上述芯部接触，通过在上 述光纤的端面与上述覆盖包层、芯部层及内包层的端面之间填充粘接剂并使其 硬化，使上述芯部和上述光纤连接，上述芯部和硬化后的上述粘接剂的折射率 的差在±0.005的范围内也可以。

上述芯部和上述粘接剂是相同材料也可以。