[发明专利]化学药品供给装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导装体装备的化学药品供给装置，尤其涉及将用于半导体芯片(Wafer)或平板显示装置(Flat Panel Display：FPD)制造工艺的化学药品从容器罐(Canister)输送至缓冲器，从而使化学药品稳定地供给到化学药品供给装置。

背景技术

图1为已有技术的化学药品供给装置的概要图。

如图所示的已有技术的化学药品供给装置大体由容器罐10和缓冲器20构成，其中所述容器罐10用于灌入化学药品原料，所述缓冲器20用于接收灌入于所述容器罐10内的化学药品(以下称为药液)，以使将所述化学药品稳定地向半导体装备25供给。

所述容器罐10内灌入药液11b，所述药液11b灌装于胶袋形式的药液袋11而被供给。

此时，所述药液袋11内灌入药液11b和作为溶媒的惰性气体或氮气11a。

如上所述的药液袋11安装成使输送管16浸渍于其内部，而该输送管16贯通设置于容器罐10中央。药液袋11通过所述输送管16向缓冲器20供给药液11b。

此时，所述缓冲器20位于容器罐10的上部，由此需要有将所述药液11b强制输送到缓冲器20的强制输送装置。

所述强制输送装置可以使用如图1所示的加压泵13，所述加压泵13起到提高容器罐10内部压力的作用。

根据所述加压泵13的作用提高容器罐10内部的压力，进而压缩药液袋，并根据所述压缩力将药液袋11内部的药液11b输送至缓冲器20。

输送至所述缓冲器20的药液11b再通过排出阀24输送至半导体装备25。此时，可以使药液同时供给到多个半导体装备，此时所述缓冲器20以稳定的压力和输送速度将一定量被灌入的药液11b供给到一个或多个半导体装备25。

所述缓冲器20的上部设有气泡排气阀26，以用于将包含在药液11b里的气泡向外部排出。

并且，在所述缓冲器20的一侧设有水位传感器23，以用于检测灌入的药液11b的水位，并使药液11b的灌入状态始终保持一定水位以上。

设置如上所述的水位传感器23的理由为预防气体通过排出阀24流入到半导体装备25。

但是，如上所述已有技术的化学药品供给装置当储存在容器罐10的药液11b达到残量(100～500cc)时，供给至缓冲器20的流速变得非常快。

此时，如上所述如果药液11b的流速被提高，则惰性气体11a在药液11b内混杂成微细的气泡状态，从而产生泡沫。

此时，因为产生的气泡体积很小，所以输送到缓冲器20后不能上升至药液11b的上层而混杂在药液11b内的情况下被硬化，从而对排管系统及机器造成故障。

因此，目前由于这种原因不能用尽药液11b，而是在剩有100～500cc左右的情况下被废弃。从而导致材料浪费和工艺缩短等严重问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种当所测定容器罐内的药液的残量为基准值以下时，缓冲器执行低速真空吸入工作的化学药品供给装置。

本发明的另一目的在于提供一种无残量地全部用尽药液袋内的药液，并在残量药液内不产生气泡的化学药品供给装置。

为了实现上述目的，本发明所提供的化学药品供给装置包括：用于灌入药液的容器罐；缓冲器，其下部设有用于接收所述容器罐内的药液后向半导体装备输送的排出阀，在上部形成用于向外部排出包含于所述药液里的气泡的气泡排气阀；残量测定装置，以用于测定所述容器罐内药液的残量；及体积可变装置，以用于当利用所述残量测定装置进行的测定结果为容器罐内的药液残量在基准值以下时，使缓冲器内药液的收容空间收缩及膨胀，从而吸入容器罐内的药液。

在此，所述容器罐的内部具有灌入药液的药液袋，所述化学药品供给装置具有为了提高所述容器罐的内部压力而压缩所述药液袋的加压泵。

此时，所述缓冲器设有水位传感器，以用于测定灌入的药液的水位。

并且，所述体积可变装置包括：分别设置于缓冲器的内部左右侧的膜部件，该膜部件为了能够任意收缩膨胀形成于膜部件之间的收容空间而向左右方向进行收缩膨胀动作；和可变致动器，以用于使所述膜部件进行收缩膨胀动作。

在此，在所述膜部件使用隔膜(Diaphragm)、褶皱管及橡胶板中的某一个。

此时，所述膜部件制作成球体形状，并在所述球体的下部连接输送管，上部连接气泡排气阀，而连接着所述输送管的一侧连接排出阀。

并且，所述可变致动器使用加/减压泵或汽缸。