[发明专利]化学药品供给装置

权利要求书

1、一种化学药品供给装置，其特征在于包括：

用于灌入药液的容器罐；

缓冲器，其下部设有用于接收所述容器罐内的药液后向半导体装备输送的排出阀，在上部形成用于向外部排出包含于所述药液里的气泡的气泡排气阀；

残量测定装置，以用于测定所述容器罐内药液的残量；及

体积可变装置，以用于当利用所述残量测定装置进行的测定结果为容器罐内的药液残量在基准值以下时，使缓冲器内药液的收容空间收缩及膨胀，从而吸入容器罐内的药液。

2、根据权利要求1所述的化学药品供给装置，其特征在于所述容器罐的内部具有灌入药液的药液袋，所述化学药品供给装置具有为了提高所述容器罐的内部压力而压缩所述药液袋的加压泵。

3、根据权利要求1所述的化学药品供给装置，其特征在于所述缓冲器设有水位传感器，以用于测定灌入的药液的水位。

4、根据权利要求1所述的化学药品供给装置，其特征在于所述体积可变装置包括：

分别设置于缓冲器的内部左右侧的膜部件，该膜部件为了能够任意收缩膨胀形成于膜部件之间的收容空间而向左右方向进行收缩膨胀动作；和

可变致动器，以用于使所述膜部件进行收缩膨胀动作。

5、根据权利要求4所述的化学药品供给装置，其特征在于在所述膜部件使用隔膜、褶皱管及橡胶板中的某一个。

6、根据权利要求4所述的化学药品供给装置，其特征在于所述膜部件制作成球体形状，并在所述球体的下部连接输送管，上部连接气泡排气阀，而连接着所述输送管的一侧连接排出阀。

7、根据权利要求4所述的化学药品供给装置，其特征在于所述可变致动器使用加/减压泵或汽缸。

8、根据权利要求4所述的化学药品供给装置，其特征在于当容器罐内药液的残量在基准值以下时，所述可变致动器进行减压驱动。

9、根据权利要求8所述的化学药品供给装置，其特征在于所述残量基准值为100～500cc。

10、根据权利要求1所述的化学药品供给装置，其特征在于根据所述体积可变装置的真空吸入速度为小于10cc/s的流速。

11、根据权利要求1所述的化学药品供给装置，其特征在于所述残量测定装置使用设在容器罐底面的测压元件或设在输送管的压力传感器，其中，所述测压元件用于检测容器罐的重量变化。