[发明专利]划线单元、板子划线装置、划线方法和基底制造方法

权利要求书

1.一种用于切割工件的划线单元，所述划线单元包括：

与所述工件接触从而在所述工件的表面中形成裂纹的划线器；

被构造成用于支撑所述划线器的支撑件；以及

被构造成用于向所述划线器提供振动的振动器。

2.根据权利要求1所述的划线单元，其中所述划线器包括可旋转的轮子，并且

所述支撑件还包括本体和轴销，所述轴销与所述本体结合并插入到在所述轮子上形成的通孔中，从而可旋转地支撑所述轮子。

3.根据权利要求2所述的划线单元，其中在所述本体的底面中形成有凹槽，所述轮子的一部分插入在所述凹槽中，并且

所述轴销在所述凹槽内并固定安装在所述本体上。

4.根据权利要求2所述的划线单元，其中所述振动器被设置在所述本体内。

5.根据权利要求1所述的划线单元，其中所述振动器是兆声振动器。

6.根据权利要求2所述的划线单元，其中所述轮子包括形成有轮齿的边缘。

7.根据权利要求1所述的划线单元，其中所述划线单元还包括加压部件，所述加压部件被设置在所述支撑件上方并且被构造成用于使用气动压力向所述支撑件施加压力。

8.一种板子划线装置，用于在将单元基底从形成有所述单元基底的所述板子中分离出来之前执行划线过程，所述装置包括：

在其上放置所述板子的支撑部件；

划线单元，其被构造成用于对放置在所述支撑部件上的所述板子进行划线；

第一运动单元，其被构造成用于使所述划线单元或所述支撑部件沿第一方向作直线运动；以及

第二运动单元，其被构造成用于使所述划线单元沿垂直于所述第一方向的第二方向作直线运动，

其中所述划线单元包括：

划线器，其与工件接触从而在所述工件的表面中形成裂纹；被构造成用于支撑所述划线器的支撑件；和被构造成用于向所述划线器提供振动的振动器。

9.根据权利要求8所述的板子划线装置，其中所述划线器包括可旋转的轮子，

所述支撑件包括本体和轴销，在所述本体的底面中形成有凹槽，所述轴销被安装成在所述凹槽之内固定在所述本体上，并且

所述轮子的一部分插入在所述凹槽中，并且所述轴销插入到在所述轮子上形成的开口中从而可旋转地支撑所述轮子。

10.根据权利要求9所述的板子划线装置，其中所述振动器是布置在所述本体内的兆声振动器。

11.根据权利要求9所述的板子划线装置，其中所述划线单元还包括加压部件，所述加压部件布置在所述支撑件上方并且被构造成用于使用气动压力向所述支撑件施加压力。

12.根据权利要求9所述的板子划线装置，其中所述支撑部件包括在其上放置所述板子的工作台，并且

所述划线单元还包括被构造成用于使所述工作台旋转的旋转单元。

13.一种对工件进行划线的方法，所述方法包括：

使划线器与所述工件接触；以及

使所述工件和所述划线器作相对运动，

其中在划线过程中向所述划线器施加振动。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述振动是兆声振动。

15.根据权利要求13所述的方法，其中所述划线器是轮子，所述轮子可以在所述工件和所述划线器作相对运动期间沿着所述工件的表面旋转。

16.根据权利要求13所述的方法，其中当所述划线器与所述工件接触时，通过气体向所述划线器施加压力。

17.一种基底制造方法，所述方法包括：

对形成有单元基底的板子进行划线；

切断已划线的所述板子，使得所述单元基底从已划线的所述板子中分离出来；以及

清洁所述单元基底，

其中通过向划线器施加振动来对所述板子进行划线，并且在切断过程和清洁过程之间对所述单元基底进行清洁，而不必打磨所述单元基底的断裂面。

18.根据权利要求17所述的方法，其中所述振动是兆声振动。

19.根据权利要求17所述的方法，其中当所述划线器与工件接触时，通过气体向所述划线器施加压力。

20.根据权利要求17所述的方法，其中所述板子是用于平板显示器的板子。