[发明专利]用于聚合配向工艺的曝光装置及曝光系统

说明书

技术领域

本发明是有关于一种用于聚合配向工艺的曝光装置及曝光系统，且特别 是有关于一种避免聚合物稳定配向式液晶显示面板产生显像不均或亮暗区块 的问题的曝光装置及曝光系统。

背景技术

市场对于液晶显示面板的性能要求是朝向高对比(high contrast ratio)、无 灰阶反转(no gray scale inversion)、色偏小(little color shift)、亮度高(high luminance)、高色彩丰富度、高色彩饱和度、快速反应与广视角等特性。目前， 能够达成广视角要求的技术有扭转向列型(twist nematic，TN)液晶加上广视角 膜(wide viewing film)、共平面切换型(in-plane switching，IPS)液晶显示面板、 边际场切换型(fringe field switching)液晶显示面板、多域垂直配向型 (multi-domain vertically alignment，MVA)液晶显示面板等方式。

已知的多域垂直配向式液晶显示面板是利用配向结构(alignment structure) 的配置以令不同区域内的液晶分子以不同角度倾倒，而达到广视角的功效。 配向结构包括有配向凸块(alignment protrusion)以及设置于电极上的配向狭缝 (alignment slit)。然而，配向凸块与配向狭缝周边液晶分子的倾倒方向往往不 明确(disclination)，而造成漏光的情形，进一步使得液晶显示面板的显示对比 降低。若为了遮蔽漏光的情形而配置对应于配向凸块或配向狭缝的遮光层， 又会使显示开口率受到限制。因此，一种聚合物稳定配向(Polymer Stability Alignment)以形成多领域配向的配向方式被提出，以改善多域垂直配向式液晶 显示面板显示对比不佳的问题。

聚合物稳定配向工艺须先将反应性单体掺杂于液晶层中，并施与液晶层 特定的电压。在此电压下以一光线或热源照射液晶层，则反应性单体会聚合 并固化，以于液晶层两侧的基板上同时形成稳定层(stabilizing layer)。其中， 稳定层的分子会呈现特定的排列方式，有助于使液晶分子以不同的方向倾倒 与排列，而达到广视角显示效果。由于，稳定层的配置不会使液晶显示面板 发生漏光的现象，因而有助于提高液晶显示面板的显示对比。可惜的是，聚 合物稳定配向的工艺过程中往往会因该曝光机台的机构设计不良而产生一些 缺陷，而使部分液晶分子的倒向不符合理想，因此仍有进一步改善的需要。

发明内容

本发明提供一种用于聚合配向工艺的曝光装置以及具有该曝光装置的曝 光系统，以解决在制造聚合物稳定配向式液晶显示面板时，聚合物稳定配向 式像素结构的液晶分子排列不符合理想的问题。

本发明提供一种用于聚合配向工艺的曝光装置以及具有该曝光装置的曝 光系统，避免聚合物稳定配向式液晶显示面板产生显像不均或亮暗区块的问 题。

本发明提出一种用于聚合配向工艺的曝光装置，包括一座台以及一光源。 该至少一光源是位于该座台上方。该座台包括：一下板、一上板以及至少一 加热件。上板位于该下板上并与该下板接合。该上板具有：至少一主动区(active area)；至少一虚构区(dummy area)大体环绕该主动区；以及复数第一吸附结构 位于该至少一虚构区内。

本发明提出一种用于聚合配向工艺的曝光系统，包括上述曝光装置；以 及一液晶显示面板，设置于该座台上。

在本发明的一实施例中，上述的上板更具有复数第二吸附结构位于该至 少一主动区内。

本发明的一实施例中，上述的第二吸附结构是为复数真空孔，该些真空 孔的孔径是小于或等于1.2毫米，或者是上述的第二吸附结构是为复数真空沟 槽，该些真空沟槽的宽度是小于或等于1.2毫米。

在本发明的一实施例中，上述的上板包括一底板，其中该底板是为一实 心板材；以及一抗反射层，形成于该底板的一上表面。

在本发明的一实施例中，上述的下板更包括一第一平板；以及一第二平 板，位于该第一平板上并与该第一平板接合，其中该加热件是大体位于该第 一平板内，以及与该第二平板之间。