[发明专利]基板搬运装置和电缆配线构造

说明书

技术领域

本发明涉及配置将电力和信号等供给如搭载有用于搬运半导体晶片或FPD(Flat Panel Display(平板显示器))基板等的搬运臂的旋转台那样带有旋转的机构的配有多条电缆的电缆配线构造和基板搬运装置。

背景技术

例如在半导体制造过程中对半导体晶片或FPD基板等的基板施加蚀刻和成膜等的预定处理的半导体制造装置中，为将基板运送到装置内的各个地方，而设置了具有搬运臂的基板搬运装置。搬运臂以能够改变臂的伸缩方向的方式安装在例如旋转台上。在这种基板搬运装置中，因为将搬运臂的驱动机构搭载在旋转台上，所以要求将用于将电力和信号供给该驱动机构的多条线体例如电线和电缆等配置在旋转台上。

当将例如多条电缆配置在这种旋转台等的旋转部件上时，一直以来，将多条电缆直接分散地配置在这种旋转部件与壳体内的底部之间，以不使这些电缆相互摩擦的程度，增大电缆的配线空间。

可是，近年来，伴随着半导体制造装置的多功能化，即便对于这种基板搬运装置也要求单元小型化，用于电缆配线的空间也要求尽可能节省空间化。另一方面，伴随着设置在旋转台上的搬运臂等的多功能化，存在着必须配置的电缆数也增加，进一步地供给的电力也增加电缆的直径也增大的倾向。

对于将这种电缆放入到比以前狭小的空间中，如果与现有技术同样直接分散配置电缆，则电缆的配线空间越狭小，当旋转台旋转，电缆运动时，电缆之间越容易相互摩擦或相互缠绕，因此可能会在电缆自身上加上负荷，导致电缆损伤、断线等。另外，当旋转台旋转，电缆运动时，因为许多电缆分散地相互缠绕运动，所以要预测整体形态和运动的轨迹是非常困难的。

在这种情况下，也考虑用电缆导管和电缆支架(ベア：bear)等将这许多电缆汇集成1条，但是当用这种电缆导管和电缆支架汇集时，因为电缆数越多，并且单体电缆的直径越粗，电缆导管和电缆支架也越粗，所以不能够将电缆导管和电缆支架自身放入到狭小的空间中。即便暂时能够放入，当旋转台旋转时，也可能会在电缆导管和电缆支架内许多电缆相互摩擦或在电缆上加上负荷。

此外，在专利文献1中，记载有如下的电缆装置，即，顺次地沿直径方向排列设置有形成为环状的多条单体电缆，使它们相互接合而形成为扁平形环状形式的集成电缆，并以在俯视图中沿上下方向曲折的形式将这种集成电缆弯曲成大致U字状。在该电缆装置中，当旋转弯曲部时，弯曲部沿上下方向胀开，由此，吸收弯曲部的相对旋转，防止电缆缠绕。在这种装置中，因为将弯曲部折成U字状，所以对单体电缆的直径比较小容易弯曲的情形是有效的。但是，如所述那样单体电缆的直径越大，不仅要弯曲成U字状本身变得越加困难，而且即便能够弯曲成U字状，因为加在各单体电缆的弯曲部分上的负荷变得极大，所以形成这种形态也是不适当的。

[专利文献1]日本特开2000-69655号专利公报

发明内容

因此，本发明就是鉴于这种问题提出的，其目的在于，提供一种电缆的配线构造和基板搬运装置，当将电缆配置在旋转部件上时，能够抑制加在构成电缆的各线体上的负荷，并且防止当电缆伴随旋转部件的旋转而运动时发生相互摩擦或相互缠绕，更加节省电缆的配线空间。

为了解决所述课题，根据本发明的观点，提供一种配线结构，其特征在于，包括：具有电缆配线空间的壳体；以俯瞰该电缆配线空间的方式，能够相对旋转地配设在所述壳体中的旋转部件、和使排列成带状的多条线体相互接合形成一体化的，将所述各线体以沿铅直方向排列的方式配置在所述旋转部件上，并收容在所述电缆配线空间中的扁平状的电缆，将所述扁平状电缆的一端安装在从所述旋转部件的旋转中心错开的位置上，以从该处向所述电缆配线空间渐渐增大卷绕直径的螺旋状的方式，将电缆的另一端安装在所述壳体上。此外，对于所述旋转部件，不仅包括例如如旋转台那样作为单体旋转的旋转部件主体，也包括安装在旋转部件主体上并与旋转部件主体一起旋转的旋转体、旋转板等。

为了解决所述课题，根据本发明的另一观点，提供一种电缆配线构造，将电缆配置在能够相对旋转的旋转部件上，其特征在于，所述电缆是使排列成带状的多条线体相互接合形成一体化的扁平状电缆，将所述扁平状电缆的一端安装在从所述旋转部件的铅直的旋转中心错开的位置上，从该处向铅直方向渐渐增大卷绕直径的螺旋状地进行配线。