[发明专利]基板搬运装置和电缆配线构造

权利要求书

1.一种电缆配线构造，其特征在于：包括，

具有电缆配线空间的壳体；

以俯瞰该电缆配线空间的方式，能够相对旋转地配设在所述壳体中的旋转部件；以及

收容在所述电缆配线空间中的扁平状的电缆，该电缆由排列成带状的多条线体相互接合形成为一体，且所述各线体以沿铅直方向排列的方式配置在所述旋转部件上；

所述扁平状电缆的一端安装在从所述旋转部件的旋转中心错开的位置上，另一端以从该位置朝向所述电缆配线空间渐渐增大卷绕直径的螺旋状的方式安装在所述壳体上。

2.一种电缆配线构造，其特征在于：

所述旋转部件从它的始点角度到终点角度沿正反方向旋转；

所述扁平状电缆的长度至少是从所述旋转部件的始点角度到终点角度与其旋转角度相对应的所述扁平状电缆的卷绕直径变化的长度。

3.根据权利要求2所述的电缆配线构造，其特征在于：在所述扁平状电缆的卷绕直径成为最小时的所述旋转部件的旋转角度，所述扁平状电缆的一端与所述扁平状电缆的另一端沿水平方向错开。

4.根据权利要求2所述的电缆配线构造，其特征在于：在所述扁平状电缆的卷绕直径成为最小时的所述旋转部件的旋转角度，从所述旋转部件的中心观察，所述扁平状电缆的一端与所述扁平状电缆的另一端在相同的一侧错开。

5.根据权利要求1所述的电缆配线构造，其特征在于：构成所述扁平状电缆的多条线体全部具有同样的弯曲率。

6.根据权利要求5所述的电缆配线构造，其特征在于：构成所述扁平状电缆的多条线体全部具有相同的直径。

7.根据权利要求1所述的电缆配线构造，其特征在于：在构成所述扁平状电缆的多条线体中，包含集束有多条单体电缆的多芯电缆。

8.一种基板搬运机构，其特征在于：包括，

能够相对旋转地设置在壳体上面的旋转台；

用于搬运搭载在所述旋转台上的基板的搬运臂；

配设在所述壳体内的上方，能够与所述旋转台一起围绕铅直轴旋转的旋转板；以及

配置在所述旋转板和所述壳体底面之间的空间中的扁平状电缆，该电缆由排列成带状的多条线体相互接合形成为一体、且所述各线体沿铅直方向排列，

所述扁平状电缆的一端安装在从所述旋转板的旋转中心错开的位置上，该电缆的另一端以从该位置向下渐渐增大卷绕直径的螺旋状的方式安装在所述壳体上。

9.一种电缆配线构造，用于将电缆配置在能够相对旋转的旋转部件上，其特征在于：

所述电缆是由排列成带状的多条线体相互接合形成为一体的扁平状的电缆；

所述扁平状的电缆的一端安装在从所述旋转部件的铅直的旋转中心错开的位置上，并配置成从该位置向铅直方向渐渐增大卷绕直径的螺旋状。