[发明专利]激光转印装置的转印头

权利要求书

1、一种激光转印装置的转印头，用于在下述状态支承转印板，该转印板在具有激光透射性的板状小片的对物面上粘附转印材料薄膜而构成，所述状态为使转印对象体的大致水平的被转印面与转印材料薄膜之间保持微小的大致一定的间隔而使转印材料薄膜与被转印面相对向，其特征在于，具有：

转印板保持架，在其下面保持所述转印板，并且向上面侧开设有使所述转印板露出的转印窗口；

转印头机体，其具有所述转印板保持架收纳用空间，并且赋予水平方向及垂直方向的位置基准；

保持架支承机构，其相对于所述转印头机体、以可上下移动且不可水平移动的方式来支承收纳在所述转印头机体的转印板保持架收纳用空间中的转印板保持架；

转印板浮起部件，通过向所述转印板保持架的下方喷射压力气体，使所述转印板与所述转印板保持架一同、相对于所述被转印面浮起。

2、如权利要求1所述的激光转印装置的转印头，其特征在于，

所述保持架支承机构由板簧构成，该板簧以所述转印板保持架收纳用空间的内周缘部为固定端、以收纳在所述转印板保持架收纳用空间的转印板保持架的外周缘部为自由端，以所述转印板保持架相对于所述转印头机体可上下移动的方式支承于所述转印板保持架与所述转印头机体之间。

3、如权利要求1所述的激光转印装置的转印头，其特征在于，

所述保持架支承机构由钢球导向件构成，该钢球导向件设于所述转印板保持架收纳用空间的内周面与收纳在所述转印板保持架收纳用空间的转印板保持架的外周面之间，以所述转印板保持架相对于所述转印头机体可上下移动的方式支承在所述转印板保持架与所述转印头机体之间。

4、如权利要求1所述的激光转印装置的转印头，其特征在于，

所述保持架支承机构由压缩弹簧构成，该压缩弹簧设于所述转印板保持架收纳用空间的内周面与收纳在所述转印板保持架收纳用空间的转印板保持架的外周面之间，以所述转印板保持架相对于所述转印头机体可上下移动的方式弹性地按压支承在所述转印板保持架与所述转印头机体之间。

5、如权利要求1所述的激光转印装置的转印头，其特征在于，

所述保持架支承机构由树脂轴承构成，该树脂轴承设于所述转印板保持架收纳用空间的内周面与收纳在所述转印板保持架收纳用空间的转印板保持架的外周面之间，以所述转印板保持架相对于所述转印头机体可上下移动的方式可滑动地支承在所述转印板保持架与所述转印头机体之间。

6、如权利要求1所述的激光转印装置的转印头，其特征在于，

所述保持架支承机构由联轴机构构成，使所述转印板保持架收纳用空间的内周面的内径与收纳在所述转印板保持架收纳用空间的转印板保持架的外周面的外径大致相同，所述联轴机构将所述转印板保持架和所述转印板保持架收纳用空间以上下自如滑动的方式嵌合支承。

7、如权利要求1所述的激光转印装置的转印头，其特征在于，

所述保持架支承机构包括：

多个压力气体喷嘴，其沿周向隔开适当距离而配置在所述转印板保持架收纳用空间的内周面；

环状槽，其设置在所述转印板保持架收纳用空间中收纳的转印板保持架的外周面，接受从所述多个压力气体喷嘴喷射的压力气体。

8、如权利要求1所述的激光转印装置的转印头，其特征在于，

所述转印板浮起部件包括：

压力气体供给部件，其用于将来自规定压力气体源的压力气体向所述转印板保持架的压力气体入口孔供给；

保持架内压力气体通路，其将所述转印板保持架的压力气体入口孔和所述转印板保持架下面的多个压力气体出口孔连通；

多个压力气体喷射孔，其位于所述转印板上，与所述转印板保持架下面的多个压力气体出口孔位置对齐，

由此，通过使来自所述压力气体源的压力气体经由所述保持架内压力气体通路、由所述转印板的所述压力气体喷射孔向转印板保持架的下方喷射，使所述转印板与所述转印板保持架一同、相对于所述被转印面浮起。

9、如权利要求8所述的激光转印装置的转印头，其特征在于，

所述压力气体供给部件是连接所述压力气体源与所述转印板保持架的压力气体入口孔之间的挠性管。