[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，具有输出直线偏光的加工用激光的激光振荡器、使上述加工用激光偏转的偏转镜、在加工工件上集光被上述偏转镜偏转的上述加工用激光的集光透镜，在上述偏转镜上形成涂层，所述涂层入射有上述被直线偏光的上述加工用激光，并且将该被直线偏光的加工用激光转换成圆偏光。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，还具有将从上述激光振荡器输出的上述加工用激光分光为第一、第二加工用激光的分光构件，被构成为上述第一、第二加工用激光一起入射到上述偏转镜，将它们一起偏转。

3.如权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，上述第一、第二加工用激光为它们的偏光方向相互正交的激光，被入射到上述偏转镜。