[发明专利]充气设备

权利要求书

1.一种充气设备，与一供气源连接，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，其中该存放装置具有至少一入气部分，该充气设备包含：

至少一承座，用以承载该存放装置；

至少一入气端口装置，设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置；以及

一供气线路，其特征在于该供气路线包含有：

一进气部分，用以与该供气源连接；

至少一供气部分与该入气端口装置连接；以及

一分气部分，将来自该进气部分的气体导入该供气部分，其中该分气部分是一封闭的回路。

2.根据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，另包含一稳压装置，设于该供气线路的进气部分，用以调节该供气线路内气体的压力与流量。

3.根据权利要求2所述的充气设备，其特征在于，另包含一第一感应装置，设于该供气线路的进气部分，用以感测该供气线路内气体的压力与流量。

4.根据权利要求3所述的充气设备，其特征在于，该第一感应装置将感测结果传输至该稳压装置，使该稳压装置得以调节该供气线路内气体的压力与流量。

5.根据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，另包含一开关装置，与该供气线路的供气部分连接，用以开启或关闭气体进入该存放装置。

6.根据权利要求5所述的充气设备，其特征在于，该开关装置为一电磁阀。

7.根据权利要求5所述的充气设备，其特征在于，当该存放装置的入气部分与该充气设备的入气端口装置正确对位，该开关装置即开启，气体即进入该存放装置中。

8.根据权利要求5所述的充气设备，其特征在于，另包含一第二感应装置，设于该承座上，用以感应该存放装置的入气部分与该充气设备的入气端口装置是否正确对位。

9.根据权利要求8所述的充气设备，其特征在于，当该存放装置的入气部分与该充气设备的入气端口装置正确对位时，该第二感应装置即传送信号至该开关装置，使该开关装置开启，气体即进入该存放装置中。

10.根据权利要求5所述的充气设备，其特征在于，该开关装置另包含一流量调节器，用以调节导入该存放装置的气体的流量。

11.根据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该分气部分包含两个以上互相连通的回路。

12.一种充气设备，与一供气源连接，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，其中该存放装置具有至少一入气部分，该充气设备包含：

至少一承座，用以承载该存放装置；

至少一入气端口装置，设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置；

一供气线路，其特征在于该供气路线包含有：

一进气部分，用以与该供气源连接；

至少一供气部分与该入气端口装置连接；以及

一分气部分，将来自该进气部分的气体导入该供气部分，其中该分气部分是一封闭的回路；

一开关装置，与该供气线路的供气部分连接，用以开启或关闭气体进入该存放装置；以及

一第二感应装置，设于该承座上，用以感应该存放装置的入气部分与该充气设备的入气端口装置是否正确对位；

其中，当该存放装置的入气部分与该充气设备的入气端口装置正确对位时，该第二感应装置即传送信号至该开关装置，使该开关装置开启，气体即进入该存放装置中。

13.根据权利要求12所述的充气设备，另包含一稳压装置，设于该供气线路的进气部分，用以调节该供气线路内气体的压力与流量。

14.根据权利要求13所述的充气设备，另包含一第一感应装置，设于该供气线路的进气部分，用以感测该供气线路内气体的压力与流量。

15.根据权利要求14所述的充气设备，其特征在于，该第一感应装置将感测结果传输至该稳压装置，使该稳压装置得以调节该供气线路内气体的压力与流量。

16.根据权利要求12所述的充气设备，其特征在于，该开关装置为一电磁阀。

17.根据权利要求12所述的充气设备，其特征在于，该开关装置另包含一流量调节器，用以调节导入该存放装置的气体的流量。

18.一种充气设备，与一供气源连接，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，其中该存放装置具有至少一入气部分，该充气设备包含：

至少一承座，用以承载该存放装置；

至少一入气端口装置，设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置；

一供气线路，其特征在于该供气路线包含有：

一进气部分，用以与该供气源连接；

至少一供气部分与该入气端口装置连接；以及

一分气部分，将来自该进气部分的气体导入该供气部分，其中该分气部分是一封闭的回路；

一稳压装置，设于该供气线路的进气部分，用以调节该供气线路内气体的压力与流量；以及

一第一感应装置，设于该供气线路的进气部分，用以感测该供气线路内气体的压力与流量；

其中，该第一感应装置将感测结果传输至该稳压装置，使该稳压装置得以调节该供气线路内气体的压力与流量。