[发明专利]基板移载装置、基板移载方法和存储介质

权利要求书

1.一种基板移载装置，被设置在基板处理装置内，载置多个基板，其特征在于，包括：

保持具，架子状保持多个基板；

基板搬送单元，从所述保持具取出所述基板，具有在保持所述基板的同时沿着进退轴进退自由地设置的大致水平的保持臂，和支撑所述保持臂的搬送基体；

光传感器，形成水平的光轴，所述光轴位于所述光传感器相对于所述搬送基体被升降时横切所述保持臂的周围侧面的位置；

升降单元，与所述搬送基体连结，使所述搬送基体相对于所述光传感器相对地升降；

高度位置检测单元，与所述升降单元连结，检测所述搬送基体相对于所述光轴的高度位置；和

控制部，具有判断单元，所述判断单元与所述光传感器和所述高度位置检测单元连接，在所述保持臂没有保持所述基板的状态下，基于通过使所述搬送基体相对于所述光传感器相对地升降而取得的来自所述光传感器的受光-非受光的检测结果和所述搬送基体的高度位置，判断所述保持臂相对于水平面的姿势是否正常，

在判断单元判断所述保持臂相对于所述水平面的姿势异常时，所述控制部在从所述保持具中取出下一个基板之前使所述基板搬送单元停止。

2.如权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于：

在所述搬送基体上以能够互相独立地进退或者一起进退的方式层叠设置多个保持臂。

3.如权利要求2所述的基板移载装置，其特征在于：

所述升降单元以所述多个保持臂横切共同的光传感器的光轴的方式使所述搬送基体升降，所述控制部的所述判断单元，对所述多个保持臂中的每一个进行所述姿势是否正常的判断。

4.如权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于：

在所述搬送基体上以能够互相独立进退的方式层叠设置多个保持臂，控制部在判断出一个保持臂的所述姿势异常的情况下，以利用其它的保持臂从所述保持具中取出所述基板的方式对所述基板搬送单元进行控制。

5.如权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于：

所述控制部的所述判断单元，基于所述搬送基体的高度位置和来自所述光传感器的受光-非受光的检测结果，进一步判断所述保持臂的所述进退轴周围的姿势是否正常。

6.如权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于：

所述光传感器由距离传感器构成，所述判断单元基于所述搬送基体的高度位置和所述距离传感器与所述保持臂之间的距离，进一步判断所述保持臂的左右方向的姿势是否正常。

7.一种基板移载方法，其使用基板移载装置，所述基板移载装置具有：保持具，架子状保持多个基板；基板搬送单元，从所述保持具取出所述基板，具有在保持所述基板的同时沿着进退轴进退自由地设置的大致水平的保持臂，和支撑所述保持臂的搬送基体；和光传感器，形成水平的光轴，所述光轴位于所述光传感器相对于所述搬送基体被升降时横切所述保持臂的周围侧面的位置，所述基板移载方法，其特征在于，包括：

在所述保持具没有保持所述基板的状态下，使所述搬送基体相对于所述光传感器相对地升降，取得所述搬送基体相对于所述光轴的高度位置和来自所述光传感器的受光-非受光的检测结果的步骤；

基于来自所述光传感器的所述受光-非受光的检测结果和所述搬送基体的高度位置，判断所述保持臂相对于水平面的姿势是否正常的步骤；和

当判断出所述保持臂相对于所述水平面的姿势异常时，以在从所述保持具取出下一个基板之前停止所述基板搬送单元的方式进行控制的步骤。

8.如权利要求7所述的基板移载方法，其特征在于：

还具备基于所述搬送基体的高度位置和来自所述光传感器的所述受光-非受光的检测结果，判断所述保持臂的所述进退轴周围的姿势是否正常的步骤。

9.如权利要求7所述的基板移载方法，其特征在于：

还具备所述光传感器由距离传感器构成，基于所述搬送基体的高度位置和所述距离传感器与所述保持臂之间的距离，判断所述保持臂的左右方向的姿势是否正常的步骤。

10.一种存储介质，其在使用基板移载装置的基板移载方法上使用，用于存储在计算机上执行的计算机程序，其特征在于：

所述基板移载装置具有：保持具，架子状保持多个基板；基板搬送单元，从所述保持具取出所述基板，具有在保持所述基板的同时沿着进退轴进退自由地设置的大致水平的保持臂，和支撑所述保持臂的搬送基体；和光传感器，形成水平的光轴，所述光轴位于所述光传感器相对于所述搬送基体被升降时横切所述保持臂的周围侧面的位置，

所述基板移载方法包括：

在所述保持具没有保持所述基板的状态下，使所述搬送基体相对于所述光传感器相对地升降，取得所述搬送基体相对于所述光轴的高度位置和来自所述光传感器的受光-非受光的检测结果的步骤；

基于来自所述光传感器的所述受光-非受光的检测结果和所述搬送基体的高度位置，判断所述保持臂相对于水平面的姿势是否正常的步骤；和

当判断出所述保持臂相对于所述水平面的姿势异常时，以在从所述保持具取出下一个基板之前停止所述基板搬送单元的方式进行控制的步骤。