[发明专利]探针单元以及检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于检查液晶面板等检查对象面板的探针单元(probe unit)以及检查装置。

背景技术

在平板显示(FPD)、例如液晶面板的制造工序中，检查其液晶面板是否具有说明书描述的性能等。在该检查中一般使用具有探针单元的检查装置，该探针单元具有多个探针。在此情况下，在将检查装置的各探针推压触到液晶面板的电极的状态下，通过将规定电信号提供给规定电极来进行检查。

图2表示这种检查装置的一例子。图示的检查装置1主要由面板配设(panel set)部2和测定部3构成。

面板配设部2是一种用于将外部插入的液晶面板5输送到测定部3，并将完成检查的液晶面板5输送往外部的装置。面板配设部2在其开口部6的里面设有面板配设台7，该面板配设台7支承着液晶面板5并将该液晶面板5输送往测定部3。此外，面板配设台7接收在测定部3完成检查后的液晶面板5，并将该液晶面板5输送往外部。

测定部3是一种用于支承从面板配设部2输送来的液晶面板5并加以试验的装置。测定部3具有卡盘顶部(chuck top)8和探针9等。

卡盘顶部8为用于支承液晶面板5的构件。该卡盘顶部8由XYZθ台(未图示)支承，被控制向XYZ轴方向的移动以及旋转，从而调整液晶面板5的位置。探针9主要具有基板10和探针单元11。将探针单元11设置成相对于水平面倾斜的状态。且该探针单元11以面向基板10的开口10A的状态由基板10支承。

如图3所示，探针单元11具有：探针基部12、支承部13、探针组装体14以及连接电缆部15。

上述探针基部12为一体支承多个支承部13的板材，该支承部13用于支承探针组装体14。在该探针基部12上，多个探针组装体14以面向工作台16上的液晶面板5的状态，通过支承部13获得支承。

上述支承部13是这样的构件：以其基端侧支承于上述探针基部12的状态、由其前端侧支承上述探针组装体14。如图4～图7所示，该支承部13具有：悬吊块(suspension block)18，其直接安装于上述探针基部12上以支承整个构件；滑块19，其由该悬吊块18的前端部支承；和探针板20，其一体地安装于该滑块19的内侧面上(图4中的下侧面)。

探针组装体14是用于与液晶面板5的电路电极相接触来传输检查信号的构件。该探针组装体14安装在探针板20的下侧面。如图6～8所示，该探针组装体14具有探针块(probeblock)22和探针23。探针块22直接安装于探针板20的下侧面。在该探针块22的下侧安装有探针23。探针23是直接与液晶面板5的电路电极相接触的构件。在探针23的前端部和基端部分别具有针部23A、23B，前端部的针部23A与液晶面板5的电路电极相接触，而基端的针部23B与连接电缆部15的端子31相接触。

连接电缆部15是用于将上述探针23与外部装置(未图示)电连接的构件。具体而言，该连接电缆部15直接连接于上述探针23的针部23B与探针基部12侧的电路，并通过该探针基部12侧的电路与外部装置电连接。即，该连接电缆部15通过探针基部12的印刷线路板26，将上述探针组装体14的探针23与外部装置电连接。如图6～8所示，该连接电缆部15具有FPC板27、驱动用集成电路28以及FPC电缆29。

上述FPC板27是用于将上述连接电缆部15固定在上述探针组装体14侧的构件。该FPC板27安装在探针20的下侧。

驱动用集成电路28是进行伴随着检查操作的处理的电路。驱动用集成电路28安装于FP板27的下侧。该驱动用集成电路28的一侧与FPC电缆29相连接，而驱动用集成电路28另一侧通过各配线30与各端子31相连接。并且，该端子31与探针23基端侧的针部23B相接触。该探针23的针部23B对准导向膜32的导向孔33，并与FPC电缆29的端子31相接触。

FPC电缆29是用于传输伴随检查操作而发生的电信号的电缆。FPC电缆29的一端固定于FPC板27上，并与驱动用集成电路28电连接，同时其另一端与设在探针基部12下侧的印刷线路板26相连接。由此，FPC电缆29通过该印刷线路板26与外部装置电连接。

然而，在上述检查装置中，作为防止液晶面板5的点亮检查时动画显示模糊的对策，而推进了TFT驱动的高速化。例如，推进将60Hz提高到120～180Hz来高速化驱动。