[发明专利]探针单元以及检查装置有效
| 申请号： | 200810085754.6 | 申请日： | 2008-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101271147A | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 久我智昭;奈良冈修治 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 单元 以及 检查 装置 | ||
1.一种探针单元，其特征在于，包括：
探针组装体，该探针组装体与设置在检查对象板表面上的电路的电极相接触来传输检查信号；
连接电缆部，该连接电缆部通过探针基部的印刷线路板将上述探针组装体与外部装置电连接，
上述连接电缆部具有FPC板、驱动用集成电路和FPC电缆，该FPC板将该连接电缆部固定在上述探针组装体侧，该驱动用集成电路进行伴随着检查的处理，该FPC电缆传输供检查用的电信号，
上述驱动用集成电路安装于上述探针基部的印刷线路板上，上述FPC电缆将上述驱动用集成电路与上述探针组装体连接起来。
2.根据权利要求1所述的探针单元，其特征在于，将从上述探针组装体到FPC电缆的电阻设定为10Ω以下。
3.一种检查装置，用于对检查对象板的检查，其特征在于，该检查装置具有面板配设部和测定部，该面板配设部用于在检查结束后将从外部插入的检查对象板搬出到外部，该测定部支承由该面板配设部输送来的检查对象板并对该检查对象板进行试验；
上述测定部的探针单元具有探针组装体和连接电缆部，该探针组装体与设置在检查对象板表面上的电路的电极相接触，并传输检查信号，上述连接电缆部通过探针基部的印刷线路板将上述探针组装体与外部装置电连接，上述连接电缆部具有FPC板、驱动用集成电路和FPC电缆，该FPC板将该连接电缆部固定在上述探针组装体侧，该驱动用集成电路进行伴随着检查的处理，该FPC电缆传输供检查用的电信号，上述驱动用集成电路安装于上述探针基部的印刷线路板上，上述FPC电缆将上述驱动用集成电路与上述探针组装体连接起来。
4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，将从上述探针组装体到FPC电缆的电阻设定为10Ω以下。
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