[发明专利]探针单元及检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于检查液晶面板、集成电路等平板状的被检查体的探针单元及检查装置。

背景技术

液晶面板等平板状的被检查体通常使用探针单元进行检查。作为这种探针单元，有排列多片薄板状的刀片型探针而构成的类型，记载了这种例子的有专利文献1。以下概略性地说明该专利文献1的发明。

如图2及图3所示，探针组合体1包括：块状体2、并列地配置在块状体2的下侧的带状的多个探针3、穿过探针3的一对细长的导杆4、收容探针3的一部分的一对槽杆5、使针尖的位置稳定在探针3的后端侧的较长的引导构件6、使导杆4支承在块状体2上的一对侧罩7。

各探针3具有带状的中央区域3A、从该中央区域的前端和后端向前方和后方伸出的一对针尖区域3B和3C。中央区域3A在各端部具有供导杆4穿过的引导孔3D。将导杆4穿入到引导孔3D中，并使各针尖区域3B及3C与槽杆5相嵌合，从而将各探针3配置在块状体2的下侧。

由此，针尖区域3B的探针与在液晶面板上设置成一横列的电极进行接触而电连接，从而进行控制信号的发送等。

但是，近年来出现了这样的情况，即在液晶面板等中，由于集成化不断发展，而以极其狭窄的间隔排列电路的电极。与此相应的探针单元有一种将将触头位置不同的刀片型探针组合配置在一起而构成交错状探针的探针单元。

专利文献1：日本特开平10-132853号公报

但是，在配置上述触头位置不同的刀片型探针而构成交错状探针的探针单元中，准确地配置、支承多个上述触头位置不同的多种刀片型探针是不容易的，存在产生刀片型探针发生歪扭、偏斜、破损等问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而作出的，其目的在于，提供一种可以抑制刀片型探针发生歪扭、偏斜、破损等，而准确地支承各触头使它们与各电极可靠地接触的探针单元及检查装置。

为了解决上述课题，本发明的探针单元具有支承刀片型探针使探针与被检查体的电极电接触的探针组合体，其特征在于，上述刀片型探针具有主体板部、前端侧臂部及FPC侧臂部；上述主体板部被准确定位和支承；上述前端侧臂部被支承在该主体板部的前端侧，用于支承触头；上述FPC侧臂部被支承在上述主体板部的FPC侧，用于支承触头；并且，该刀片型探针由第1列用刀片型探针和其他列用刀片型探针构成；上述第1列用刀片型探针将上述前端侧臂部的触头设置在上述被检体的与多列呈交错状排列的电极中的第1列电极对准的位置，且设于上述前端侧臂部的前端位置；上述其他列用刀片型探针将上述前端侧臂部的触头设置在与多列呈交错状排列的电极中的第2列之后的电极对准的位置上，并且，在上述触头的前端侧设有保持板部，以使其他列用刀片型探针的前端侧臂部达到与上述第1列用刀片型探针的前端侧臂部大致相同的长度。

根据上述结构，上述第1列用刀片型探针的上述前端侧臂部的触头与上述被检查体的多列呈交错状的电极中的第1列电极相接触，上述其他列用刀片型探针的上述前端侧臂部的触头与上述被检查体的多列呈交错状的电极中的第2列之后的电极相接触，并发送控制信号。此时，利用上述其他列用刀片型探针的保持板部，使该其他列用刀片型探针的前端侧臂部与上述第1列用刀片型探针的前端侧臂部达到大致相同的长度。

优选的是，利用上述其他列用刀片型探针的保持板部来增加其他列用刀片型探针的前端侧臂部与上述槽的保持面积。

该检查装置具有放置部和测定部；上述放置部用于从外部搬入被检查体，并在检查结束后将该被检查体搬往外部；上述测定部支承从该放置部上接过来的被检查体并进行检测；上述测定部的探针单元优选使用上述探针单元。

如上所述，利用上述其他列用刀片型探针的保持板部使该其他列用刀片型探针的前端侧臂部与上述第1列用刀片型探针的前端侧臂部达到大致相同的长度，因此，可抑制各刀片型探针发生歪扭、偏斜、破损等，而准确地支承各触头使它们可靠地与各电极相接触。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的探针单元的刀片型探针的侧视图。

图2是表示以往的检查装置的探针组合体的立体图。

图3是表示以往的检查装置的探针组合体的侧视剖视图。

图4是表示本发明的实施方式的探针单元的立体图。

图5是表示本发明的实施方式的探针单元的局部剖切的侧视图。

图6是表示本发明的实施方式的探针单元的探针组合体的分解立体图。

图7是从背面表示本发明的实施方式的探针单元的探针组合体的立体图。

图8是表示本发明的实施方式的探针单元的探针组合体的前端侧臂部的俯视图。