[发明专利]探针单元及检查装置

权利要求书

1. 一种探针单元，其具有支承刀片型探针使其与被检查体的电极电接触的探针组合体，其特征在于，

上述刀片型探针具有主体板部、前端侧臂部及FPC侧臂部；上述主体板部被准确定位和支承；上述前端侧臂部被支承在该主体板部的前端侧，用于支承触头；上述FPC侧臂部被支承在上述主体板部的FPC侧，用于支承触头；并且，该刀片型探针由第1列用刀片型探针和其他列用刀片型探针构成；

上述第1列用刀片型探针将上述前端侧臂部的触头设置在与多列呈交错状排列的电极中的第1列电极对准的位置，且设于上述前端侧臂部的前端位置；

上述其他列用刀片型探针将上述前端侧臂部的触头设置在与多列呈交错状排列的电极中的第2列之后的电极对准的位置上，并且，在上述触头的前端侧设有保持板部，以使其他列用刀片型探针的前端侧臂部达到与上述第1列用刀片型探针的前端侧臂部大致相同的长度。

2. 根据权利要求1所述的探针单元，其特征在于，

该探针单元具有槽杆，该槽杆设有多条供刀片型探针的前端侧臂部及FPC侧臂部插入的槽；

上述其他列用刀片型探针的保持板部增加了其他列用刀片型探针的前端侧臂部与上述槽之间的保持面积。

3. 一种检查装置，其用于检查被检查体，其特征在于，

该检查装置具有放置部和测定部；上述放置部用于从外部搬入被检查体，并在检查结束后将该被检查体搬往外部；上述测定部支承从该放置部上接过来的被检查体并进行检测；

上述测定部具有探针单元，该探针单元具有支承刀片型探针并使其与被检查体的电极电接触的探针组合体；

上述刀片型探针具有主体板部、前端侧臂部及FPC侧臂部；上述主体板部被准确定位和支承；上述前端侧臂部被支承在该主体板部的前端侧，用于支承触头；上述FPC侧臂部被支承在上述主体板部的FPC侧，用于支承触头；并且，该刀片型探针由第1列用刀片型探针和其他列用刀片型探针构成；

上述第1列用刀片型探针将上述前端侧臂部的触头设置在与多列呈交错状排列的电极中的第1列电极对准的位置，且设于上述前端侧臂部的前端位置；

上述其他列用刀片型探针将上述前端侧臂部的触头设置在与多列呈交错状排列的电极中的第2列之后的电极对准的位置上，并且，在上述触头的前端侧设有保持板部，以使其他列用刀片型探针的前端侧臂部达到与上述第1列用刀片型探针的前端侧臂部大致相同的长度。

4. 根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，

该检查装置具有槽杆，该槽杆设有多条供刀片型探针的前端侧臂部及FPC侧臂部插入的槽；

上述其他列用刀片型探针的保持板部增加了其他列用刀片型探针的前端侧臂部与上述槽之间的保持面积。