[发明专利]具有起动准备功能的激光装置以及激光装置的起动方法

说明书

技术领域

本发明涉及激光装置以及激光装置的起动方法，特别涉及具有起动准备功能的激光装置以及激光装置的起动方法。

背景技术

在激光振荡器中，激光输出、激光输出稳定性、光束形状以及光束聚光性等激光性能、或者激光输出测定器的灵敏度等的测定器性能，有时依赖于振荡器、激励介质、冷却水、激光电源或者激光输出测定器等的温度。即，从低温环境或者高温环境起动后不久的激光性能或者激光输出测定器的性能有时和温度平衡时的性能不同。在这种情况下，如果通过由激光振荡导致的发热或者振荡器具有的冷却功能使各部分的温度从起动时开始变化，随着时间的经过而接近热平衡状态，则激光性能更加稳定。

因此，在从低温环境或者高温环境起动激光振荡器的情况下，通过在使用激光前的准备阶段进行使各部分的温度接近热平衡状态的过程，使激光输出稳定，能够稳定地进行激光加工等。例如，特开2005-25 1855号公报公开了，测定激光装置的温度，根据该温度判断准备结束或者未结束的方法。另外，提出了测定激光振荡中的激光输出，根据该激光输出值判断准备结束或者未结束的方法。

但是，有时仅用激光装置的温度无法正确地判断准备结束或者未结束。另外，即使在根据激光振荡中的激光输出值判断准备结束或者未结束的方法中，在简单的进行恒定值和输出值的比较那样的同样的基准的应用中，有时也会产生不合适的情况。例如，在激光振荡器部件随时间老化、性能比设计性能变差的激光振荡器中，一般在稳定状态(准备结束状态)下的激光输出比最初的激光输出降低，所以使用和随时间老化前相同的基准不能恰当地判断准备结束或者未结束。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种激光装置以及激光装置的起动方法，所述激光装置具有如下功能：即使是由于随时间老化等而导致性能降低的激光装置，在从低温环境或者高温环境起动激光振荡器的情况下，也能够在使用激光前的准备阶段中使各部分的温度自动地接近稳定状态，高效率地判断准备结束状态。

为实现上述目的，根据本发明的一个形态，提供一种激光装置，具有：激光振荡器；向该激光振荡器供给电力的激光电源；测定激光输出的激光输出测定器；吸收激光的光束吸收装置；和接收激光输出指令，控制所述激光振荡器、所述激光电源、所述激光输出测定器以及所述光束吸收装置的控制装置。所述控制装置包含：试行实施部，在从激光振荡器起动时起、直到进入激光使用适宜状态的准备过程中，经过规定的时间使所述激光振荡器成为激光振荡状态，在通过所述光束吸收装置吸收振荡产生的激光中的至少一部分的状态下，进行通过所述激光输出测定器测定激光振荡状态下的激光输出的激光振荡试行；判断部，在通过所述试行实施部进行的激光振荡试行中，判断通过所述激光输出测定器测定的激光输出是否满足根据激光装置的稳定输出状态而决定的规定基准；反复起动部，在所述判断部判断出已满足所述规定基准前，自动地交替重复通过所述试行实施部进行的激光振荡试行和激光不振荡状态。

所述规定基准的合适的具体例是，连续两次的激光振荡试行中的激光输出值的差达到规定值以下。

所述规定基准的另一合适的具体例是，预定的稳定状态的基准激光输出值和所述激光振荡试行中的激光输出值的差达到规定值以下。

激光装置可以进一步具有测量激光振荡器、激励介质、冷却水、激光电源以及激光输出测定器中至少一个的温度的温度测定器，在这种情况下，所述控制装置，在通过所述温度测定器测定的温度进入根据稳定输出状态而决定的规定的基准温度范围内之前，可以不进行基于所述反复起动部的激光振荡试行的重复，而继续进行激光振荡试行。

所述规定的基准温度范围的合适的具体例是，预定的所述激光装置的稳定输出状态的最低基准温度以上。

所述规定的基准温度范围的可选择的或者附加的具体例是，预定的所述激光装置的稳定输出状态的最高基准温度以下。

所述规定的基准温度范围的可选择的或者附加的具体例是，所述激光装置的激光输出相对于时间经过而单调增加或者单调减小的温度范围。