[发明专利]具有起动准备功能的激光装置以及激光装置的起动方法

权利要求书

1.一种激光装置(10)，具有：激光振荡器(18)；向该激光振荡器(18)供给电力的激光电源(22)；测定激光输出的激光输出测定器(40)；吸收激光的光束吸收装置(44)；和接收激光输出指令，控制所述激光振荡器(18)、所述激光电源(22)、所述激光输出测定器(40)以及所述光束吸收装置(44)的控制装置(24)，所述激光装置(10)的特征在于，

所述控制装置(24)包含：

试行实施部(26)，在从所述激光振荡器(18)起动时起、直到进入激光使用适宜状态的准备过程中，经过规定时间使所述激光振荡器(18)成为激光振荡状态，在通过所述光束吸收装置(44)吸收振荡产生的激光(38)中的至少一部分的状态下，进行通过所述激光输出测定器(40)测定激光振荡状态下的激光输出的激光振荡试行；

判断部(28)，在通过所述试行实施部(26)进行的激光振荡试行中，判断通过所述激光输出测定器(40)测定的激光输出是否满足根据激光装置(10)的稳定输出状态而决定的规定基准；以及

反复起动部(30)，在所述判断部(28)判断出已满足所述规定基准前，自动地交替重复通过所述试行实施部(26)进行的激光振荡试行和激光不振荡状态。

2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述规定基准是连续两次的激光振荡试行中的激光输出值的差达到规定值以下。

3.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述规定基准是预定的稳定状态的基准激光输出值和所述激光振荡试行中的激光输出值的差达到规定值以下。

4.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

还具有测量激光振荡器(18)、激励介质、冷却水、激光电源(22)以及激光输出测定器(40)中至少一个的温度的温度测定器(42)，

所述控制装置(24)，在通过所述温度测定器(42)测定的温度进入根据稳定输出状态而决定的规定的基准温度范围内之前，不进行基于所述反复起动部(30)的激光振荡试行的重复，而继续进行激光振荡试行。

5.根据权利要求4所述的激光装置，其中，

所述规定的基准温度范围是预定的所述激光装置(10)的稳定输出状态的最低基准温度以上。

6.根据权利要求4所述的激光装置，其中，

所述规定的基准温度范围是预定的所述激光装置(10)的稳定输出状态的最高基准温度以下。

7.根据权利要求4所述的激光装置，其中，

所述规定的基准温度范围是所述激光装置(10)的激光输出相对于时间经过而单调增加或者单调减小的温度范围。

8.一种激光装置(10)的起动方法，所述激光装置(10)具有：激光振荡器(18)；向该激光振荡器(18)供给电力的激光电源(22)；测定激光输出的激光输出测定器(40)；吸收激光的光束吸收装置(44)；和接收激光输出指令，控制所述激光振荡器(18)、所述激光电源(22)、所述激光输出测定器(40)以及所述光束吸收装置(44)的控制装置(24)，所述起动方法的特征在于，包含以下步骤：

在从所述激光振荡器(18)起动时起、直到进入激光使用适宜状态的准备过程中，经过规定时间使所述激光振荡器(18)成为激光振荡状态，在通过所述光束吸收装置(44)吸收振荡产生的激光(38)中的至少一部分的状态下，进行通过所述激光输出测定器(40)测定激光振荡状态下的激光输出的激光振荡试行的步骤；

在所述激光振荡试行中，判断通过所述激光输出测定器(40)测定的激光输出是否满足根据激光装置(10)的稳定输出状态而决定的规定基准的步骤；以及

在判断出已满足所述规定基准前，自动地交替重复所述激光振荡试行和激光不振荡状态的步骤。