[发明专利]降冰片烯与丙烯酸酯共聚物的制备方法无效

专利信息
申请号: 200810063149.9 申请日: 2008-07-11
公开(公告)号: CN101319028A 公开(公告)日: 2008-12-10
发明(设计)人: 房江华;胡敏杰;杨建平;高浩其 申请(专利权)人: 宁波工程学院
主分类号: C08F232/08 分类号: C08F232/08;C08F220/10;C08F4/80
代理公司: 宁波诚源专利事务所有限公司 代理人: 胡志萍;张一平
地址: 315211浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 冰片 丙烯酸酯 共聚物 制备 方法
【说明书】:

技术领域

本发明涉及到高分子聚合领域,具体指一种降冰片烯与丙烯酸酯共聚物的制备方法。

背景技术

聚降冰片烯是一种特殊的聚合物,具有优良的力学性能、耐热性、在有机溶剂中的可溶性及透明性,可用于157nm紫外光光刻。这一材料主要缺点是脆性、粘性差和分子量低等。将丙烯酸酯插入聚降冰片烯主链中后,可提高聚合物的粘结性和可溶性,这种共聚物可作为光阻材料应用于157nm影印技术。而且,微电子工业的发展需要尺寸更小的成分,对适用于线宽为1.3μm及以下线宽的曝光技术,可选择157nm F2光刻技术,这些技术涉及光刻工艺的各个方面,提出了新的光学材料及其制造和镀膜技术、新型抗蚀剂、用于掩膜及其保护薄膜的新材料等有待于解决的问题。因此,为了获得好的光刻新材料,发展了交替共聚材料,主要发展降冰片烯与丙烯酸酯类二组份共聚材料,同时应用有侧基的降冰片烯,目的是提高整个基质的抗蚀能力,提高光刻性能。

目前合成这些材料的方法主要有自由基聚合等方法,目前应用的这些合成方法存在反应时间长、获得共聚物收率低、共聚物分子量小、共聚物交替度低等缺点,并且国内对降冰片烯与马来酸酐共聚研究开展较少。

美国专利US6593440提出了采用钯催化剂制备降冰片烯与丙烯酸酯共聚物,其可以提高共聚物的分子量,但是采用钯系催化剂催化降冰片烯和丙烯酸酯共聚的反应时间长、共聚物收率低、共聚物交替度低。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的现状,提供一种反应收率高的降冰片烯与丙烯酸酯共聚物的制备方法。

本发明解决上述技术问题所采用的技术方案为:该降冰片烯与丙烯酸酯共聚物的制备方法,其特征在于包括下述步骤:

a、将摩尔比为1~1.1∶1~1.1的降冰片烯和丙烯酸酯加入到充满氮气的反应器中,然后加入第一溶剂,使降冰片烯和丙烯酸酯溶解在第一溶剂中;

b、按铁络合物催化剂中二氯化铁与降冰片烯的摩尔比为0.02~0.04∶1的比例向反应器中加入铁络合物催化剂,在50~90℃时恒温反应6~8小时,得到反应产物;

c、将反应产物倒入含5%盐酸的甲醇溶液中,使降冰片烯与丙烯酸酯共聚物沉淀,得到沉淀物;

d、将沉淀物用甲醇洗涤至中性,然后真空干燥,得到降冰片烯与丙烯酸酯共聚物;

其中,所述的铁络合物催化剂的制备方法如下:

i)干燥配体和第二溶剂;

ii)按二氯化铁与配体的摩尔比为1∶10~10∶1的比例,将二氯化铁与配体溶于第二溶剂中,然后放入充满氮气的反应器内;

iii)按二氯化铁与卤代烃的摩尔比为1∶10~10∶1的比例,向反应器内注入卤代烃,于20~100℃条件下恒温30~60分钟,冷却后即得所述铁络合物催化剂。所述二氯化铁、配体及卤代烃三者的最佳摩尔比为1∶3∶1。

本发明提供的铁络合物催化剂能在常压下,温度在4~150℃时,在氮气保护体系中产生催化活性,主要为配位络合催化,具有很好的催化降冰片烯与丙烯酸酯共聚反应的性能,催化效果好、收率较高,且经甲醇浸泡产物很容易洗涤分离。

所述降冰片烯与丙烯酸酯的摩尔比优选为1∶1。

所述的配体选自:乙酰乙酸乙酯、丙二酸二乙酯、8-羟基喹啉、α,α′-联吡啶、邻二氮菲、吡啶、异喹啉、喹啉、卟啉类、乙二胺四乙酸、胺类、乙酰基丙酮、苯酰基丙酮。

所述的氯代烃选自:苄溴、苄氯、1-溴-1-苯基乙烷、1-氯-1-苯基乙烷、1-溴-1-苯基丙烷、1-氯-1-苯基丙烷、溴代三甲基甲烷、氯代三甲基甲烷、溴代三甲基乙烷、氯代三甲基乙烷、α-卤代烯烃。

所述的第一溶剂和第二溶剂均选自:苯,甲苯,四氢呋喃,石油醚,苯甲醚,1,4-二氧六环,1,2-二氯乙烷,环己烷,环己酮。

所述的降冰片烯选自:二环[2,2,1]庚-2-烯,1-甲基二环[2,2,1]庚-2-烯,5-甲基二环[2,2,1]庚-2-烯,7-甲基二环[2,2,1]庚-2-烯,1-乙基二环[2,2,1]庚-2-烯,5-乙基二环[2,2,1]庚-2-烯,5,5-二甲基二环[2,2,1]庚-2-烯,1-苯基二环[2,2,1]庚-2-烯,5-苯基二环[2,2,1]庚-2-烯,5-乙烯基二环[2,2,1]庚-2-烯,二环[2,2,1]庚-2-烯-5-甲酸甲酯,二环[2,2,1]庚-2-烯-5-甲酸特丁酯。

所述的丙烯酸酯选自:丙烯酸甲酯,丙烯酸乙酯,丙烯酸丁酯,甲基丙烯酸甲酯,甲基丙烯酸乙酯,甲基丙烯酸丁酯,甲基丙烯酸特丁酯。

所述的胺类为乙二胺或二乙胺。

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