[发明专利]加工研磨硅片载体的专用模具有效
| 申请号： | 200810061006.4 | 申请日： | 2008-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN101264496A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 胡林宝 | 申请（专利权）人： | 胡林宝 |
| 主分类号： | B21D37/10 | 分类号： | B21D37/10;B21D53/26;B24B29/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 杭州裕阳专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 应圣义 |
| 地址： | 324300浙江省开*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加工 研磨 硅片 载体 专用 模具 | ||
【权利要求书】：
1、一种加工研磨硅片载体的专用模具，其特征是：包括一个“口”字型的竖直模架，以及上模板(23)、下模板(50)和一底板(30)，上模板(23)的工作面上设有一段弧状排列的上齿型模，下模板(50)的工作面上设有一段弧状排列的下齿型模(51)；所述上模板(23)贴置在模架顶边(20)的下面，模架顶边(20)的两侧分别设有一个导向孔(41)，所述竖直模架的两根模架侧边为导柱杆(40)，模架顶边(20)经导向孔(41)套置在导柱杆(40)上，模架底边呈平面状向前延伸形成底板(30)，下模板(50)安装在上模板(23)的正下方的底板(30)上；在所述底板(30)的一侧设有定位销(60)，定位销(60)位于下齿型模(51)齿型延伸的节圆上；在所述节圆中心的底板(30)上设有一中心定位杆(70)。
2、如权利要求1所述的专用模具，其特征是：所述底板(30)为一块面积可变的平板，上模板(23)拆卸式连接在模架顶边(20)的下面，下模板(50)拆卸式连接在底板(30)上。
3、如权利要求1所述的专用模具，其特征是：所述底板(30)上的中心定位杆(70)的基部设有一个平面状的转盘(71)。
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