[发明专利]紫外光学仪器分辨率测试仪

说明书

技术领域

本发明属于紫外光学仪器像质评价测试仪器，特别涉及一种紫外光学仪器分辨率的检测装置。

背景技术

在可见光和红外波段，光学仪器的像质评价方法主要有光学传递函数法、星点法、分辨率法和点列图法，而在近紫外波段由于缺少紫外光学仪器的检测设备，紫外光学仪器的成像质量和仪器整机的性能评价只能在可见光波段进行，因此测量结果存在一定的误差和失真性。对于像差较大的光学系统，如望远系统和照相系统，分辨率会随着像差增大而有明显的变化，因此分辨率检测可以区分系统的像质差异。分辨率检测可以获得有关待检光学系统像质的信息，给出像质的数字指标，易于定量测量和比较。为适应研究需要，研制紫外光学分辨率测试仪具有十分重要的实用价值。

发明内容

本发明的目的在于，为了解决紫外光学仪器成像质量因缺少有效的评价手段而存在的一系列问题，提出一种紫外光学仪器分辨率测试仪。使对紫外波段进行像质评价成为可能。

本发明紫外光学仪器分辨率测试仪，包括氘灯光源、机械可变光阑、石英聚光镜、由入射狭缝组机构和准直反射镜、与波长驱动机构相连接的闪耀光栅、成像反射镜、平面反射镜、出射狭缝构成的紫外单色仪、紫外漫透射器、紫外分辨率板、二维调节平台、转折平面反射镜、非球面准直镜、光学导轨、待测光学仪器平台、图像采集系统和计算机，所述的氘灯光源通过机械可变光阑、石英聚光镜按1∶1比例成像于所述的紫外单色仪的入射狭缝组机构上，由紫外单色仪出射狭缝处发射出的紫外光均匀照射在紫外漫透射器上，紫外漫透射器和紫外分辨率板通过卡具压紧在一起，固定在二维调节平台之上，并将二维调节平台置于出射狭缝之后，经过紫外漫透射器的漫透射作用，紫外分辨率板局部被均匀照明，紫外分辨率板经过平面反射镜和非球面准直镜形成无限远紫外分辨目标；待测光学仪器平台置于光学导轨上，光学导轨轴线与平行光路的光轴重合；所述的波长驱动机构和图像采集系统分别与计算机控制连接。

在所述的石英聚光镜和紫外单色仪的入射狭缝组机构之间、准直反射镜和成像反射镜之间、闪耀光栅和平面反射镜之间、平面反射镜和出射狭缝之间还分别设置一消杂光陷阱，以实现有效地抑制单色仪的杂光水平。

本发明的特点：首次将小F/#紫外单色仪应用于分辨率测试装置作为光源，在消除仪器杂光方面采取了积极的措施，如在紫外单色仪入射狭缝、出射狭缝和两反射镜之间设置消杂光陷阱，有效地抑制了单色仪的杂光水平；应用紫外漫透射器使紫外辐射均匀照明紫外分辨率板，不会因照明不均匀而使部分分辨目标对比度下降；由于紫外波段可选的材料有限，按照常规平行光管的设计原则，相差校正存在极大的困难。本发明采用非球面设计反射式平行光管，形成无穷远紫外分辨率目标。不仅减少了设计和加工成本，而且使紫外能量得到了最大程度的利用。

附图说明

图1是本发明的紫外光学仪器分辨率测试仪结构原理示意图；

图2是图1中所示狭缝组机构4的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图给出的实施例对本发明结构作进一步详细阐述。

参照图1，一种紫外光学仪器分辨率测试仪，包括氘灯光源1、机械可变光阑2、石英聚光镜3、由入射狭缝组机构4、准直反射镜5、与波长驱动机构18相连接的闪耀光栅6、成像反射镜8、平面反射镜9、出射狭缝10构成的紫外单色仪、紫外漫透射器11、紫外分辨率板12、二维调节平台13、转折平面反射镜14、非球面准直镜15、光学导轨16、待测光学仪器平台17、图像采集系统19和计算机20，所述的氘灯光源1通过机械可变光阑2、石英聚光镜3按1∶1比例成像于所述的紫外单色仪的入射狭缝组机构4上，由紫外单色仪出射狭缝10处发射出的紫外光均匀照射在紫外漫透射器11上，紫外漫透射器11和紫外分辨率板12通过卡具压紧在一起，固定在二维调节平台13之上，并将二维调节平台13置于出射狭缝10之后，经过紫外漫透射器11的漫透过作用，紫外分辨率板12局部被均匀照明，紫外分辨率板12经过平面反射镜14和非球面准直镜15形成无限远紫外分辨目标；待测光学仪器平台17置于光学导轨16上，光学导轨16轴线与平行光路的光轴重合；所述的波长驱动机构18和图像采集系统19分别与计算机20控制连接。

在所述的石英聚光镜3和紫外单色仪的入射狭缝组机构4之间、准直反射镜5和成像反射镜8之间、闪耀光栅6和平面反射镜9之间、平面反射镜9和出射狭缝10之间还分别设置一消杂光陷阱7。以实现有效地抑制单色仪的杂光水平。